SR-MEMS研究室
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平成22年度
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ナノマイクロシステム分野 SR-MEMS研究室
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佐和鍍金工業株式会社 佐和吉敬 他 日本設備管理学会 論文賞受賞!
スタッフ
教授 服部正
助教 野田大二
テクニカルスタッフ 山下健治
秘書 深澤訓子
研究テーマ
現在の機械加工技術では到達できていないμmレベルの微細加工が実現でき、量産可能な技術であるLIGAプロセスを用いて高アスペクト比(高さと幅の比)構造の3次元構造体の作製を行い,様々なデバイスへ応用展開を目指しています。 LIGAプロセスとはX線リソグラフィ、電気鋳造を用いた精密金型の作製、樹脂成形による大量生産する技術を統合したプロセスです。
無痛針金型
PMMA構造体
SU-8構造体
蚊の小顎の形状に着目したノコギリ刃状の無痛針の金型
導光板用テーパー形状を有する
ドットパターン
Siドライエッチング法によって作製したX線マスク用高アスペクト比構造体
平成22年度 プロジェクト
・科学技術振興機構(JST) 先端計測分析技術・機器開発事業(機器開発プログラム)
「高アスペクト比X線格子を用いた位相型高感度X線医用診断機器の開発」
研究設備
・
NewSUBARU BL2 (大面積露光用産業ビームライン)
・
NewSUBARU BL11(集光型研究用ビームライン)
・
高度産業科学技術研究所実験室
主な試作品
・
詳細
研究業績
・
平成22年度
・
平成21年度
・
平成20年度
・
平成19年度
・
平成18年度
・
平成17年度
・
平成15-16年度
・
平成12-14年度
・ご意見・ご要望は
SR-MEMS@lasti.u-hyogo.ac.jp
までお願いします。
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兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
〒678-1205
兵庫県赤穂郡上郡町光都3丁目1番2号 兵庫県立先端科学技術支援センター内
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