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	ナノマイクロシステム分野 SR-MEMS研究室

	SR-MEMS研究室　試作デバイス
	これまでSR-MEMS研究室が共同研究先と開発したデバイス例です。

立体マイクロコイル 1mm×Φ0.5mm、ピッチ幅10μmの立体マイクロコイルと金型マスタPMMA構造体の拡大写真
ライティングパネル 液晶ディスプレイ用ライティングパネルとライティングパネルのパターン断面形状
Si加工 ICPプラズマエッチング装置を用いたシリコン加工	X線回折格子 Ｘ線ダルボ干渉計用回折格子断面
傾斜角センサ 傾斜角センサのシリコーンオイル移動状態	プローブ マイクロプローブのSEM写真

・ご意見・ご要望はSR-MEMS@lasti.u-hyogo.ac.jpまでお願いします。