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ECRイオンビーム表面改質装置 |
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水蒸気をチャンバー内に導入し、イオンガンを用いて水酸基を被接着物の表面に照射し、表面改質を行う装置です。 |
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超音波真空ホットエンボス装置 |
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加熱した金型の上下に樹脂を挟んで両面プレスし、微細形状を転写加工する装置です。 |
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両面マスクアライナー |
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6インチ基板対応の光学両面リソグラフィと高精度位置合わせが可能なマスクアライナーです。 |
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フレキシブル高速電鋳装置 |
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極板間に働く電界の影響を調節して電着層の厚さを同心円状で均一にすることが可能な電鋳装置です。 |
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SEM用断面試料作製装置 |
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遮蔽材に沿いイオン照射させ断面を形成させるSEM/EPMA用などの試料作製装置です。 |
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走査型プローブ顕微鏡 |
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試料とプローブ先端の間に生じる原子間力等を検出し、形状、表面特性を測定する顕微鏡です。 |
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超深度形状測定顕微鏡 |
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高精度で多彩な3次元の形状を観察・測定できる顕微鏡です。 |
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電子線描画装置 |
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高輝度電子銃と高速、高分解能の照射系によってサブミクロンの微細パターンが描画可能な電子線描画装置です。 |
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小型射出成形装置 |
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ウォーム成形専用で油圧駆動とサーボモーター駆動を持つ、小型部品を成形するための装置です。 |
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ICPエッチング装置 |
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高密度RFプラズマを利用した高速シリコンドライエッチング装置です。 |
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三元スパッタリング装置 |
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3つのターゲットを有し、多層膜にも対応したスパッタリング装置。RFスパッタとDCスパッタが可能。 |
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走査型電子顕微鏡 |
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表面微細構造の観察に用いられる顕微鏡です。エネルギー分散型X線分析装置も備えている。 |
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スピン・スプレー塗布装置 |
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角型基板の塗布にも対応したスピンまたはスプレー塗布装置。起状のある基板へもレジスト塗布可能。 |
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デジタルマイクロスコープ |
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フリーアングル観察システムを有するデジタルマイクロスコープ。動画にも対応しており、リアルタイム記録が可能。 |
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