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高度産業科学技術研究所 兵庫県立大学 UNIVERSITY OF HYOGO
ニュースバルのご紹介
高度産業科学技術研究所詳細
EUVリソグラフィー研究開発センター
LIGAプロセス研究開発センター
合同会社シンクロトロンアナリシスLLC
スタッフ
ナノインプリント研究開発センター
設置目的 沿革 組織 成果・報告 アクセス リンク
高度産業科学技術研究所の理念 -LASTI-
我々は、自由闊達な精神の基に、光科学技術を中心とした先端かつ独創的な研究を推進すると共に、新しい産業科学技術基盤の創出を図り、産業支援を通して人と環境に調和した社会の発展に貢献します。

高度産業科学技術研究所の理念
ニュースバル
ニュースバル -NewSUBARU-
1.5GeVの電子ビーム蓄積リングを持つ中型放射光施設で、軟X線〜真空紫外域の波長の光を利用することができます。光源の研究開発や微細加工、材料創製・評価などの産業応用研究、技術開発を行っています。

  
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 兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
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