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・メンバー ・研究紹介・設備 NewSUBARUビームライン紹介（ニュースバル放射光施設へ移動します） BL03 / BL09 / BL10 ・受賞 ・アクティビティ
メンバー
専任 Staff
教授：原田 哲男
研究テーマ： 放射光ナノ計測と光応用 ・Research map ・兵庫県立大学工学部 ・産学連携研究研究シーズ 准教授：山川 進二 研究テーマ： 半導体リソグラフィー用次世代レジスト材料の開発（EUV・BEUV） ・Research map ・兵庫県立大学工学部 ・産学連携研究研究シーズ 助教：早勢 直紀 研究テーマ： EUV露光向け成膜技術開発 ・Research map ・兵庫県立大学工学部 秘書
三宅（秘書）
山根（技術補佐員） 学生：2025年現在
Ｍ２：３名 石田・江渕・志賀
Ｍ１：３名 棚木・貫里・山﨑 Ｂ４：４名 片畑・田中・西田・坊垣 協力staff：
特任教授 ：村松 康司 （2025.04-）
客員教授 ：小池 雅人 （202y.mm-） 客員教授 ：木下 博雄 （2025.04-） 客員研究員 ：大滝 桂 （2024.mm-） 客員研究員 ：赤井 俊雄 （2025.05-） 客員研究員 ：上原 康 （2025.mm-） オペレーター：吉村 真史 （2025.04-） オペレーター：米田 早秀 （2025.04-） オペレーター：竹本 （2025.08-） （敬称略順不同）
研究紹介・設備
1, 概要ポスター
2, 極端紫外線(EUV)リソグラフィ用技術開発
・EUVレジスト評価系およびレジスト材料の開発 感度評価系として、BL03においてMo/Si多層膜を用いた7回反射系を構築した。アップグレードしながら、2025年現在も感度評価実験を実施している。 Novel Evaluation System for Extreme Ultraviolet Lithography Resist in NewSUBARU (2005) Current Status of EUV Flood Exposure Tool at NewSUBARU BL03 (2024) BL09にEUV干渉露光系を構築した。これにより、1X nmHPまでのレジストのパタン評価が可能である。随時アップグレードを実施している。 Development of Transmission Grating for EUV Interference Lithography of 1X nm HP (2015) Present Status of EUV Interference Lithography at NewSUBARU (2023) LWRの抑制を指向したPAG-バウンド型レジストの評価を実施した。PAGをポリマー構造中に持たせたPAGバウンドレジストはLWRの抑制に効果的であり、レジスト設計の方針の１つとなった。 CA Resist with Side Chain PAG Group for EUV Resist (2006) ・EUVマスク用欠陥検査技術の開発 EUVマスク用欠陥検査技術として、BL03にコヒーレントEUV光を用いた散乱計(CSM)を構築した。 Development of Coherent Extreme-Ultraviolet Scatterometry Microscope with High-Order Harmonic Generation Source for Extreme-Ultraviolet Mask Inspection and Metrology (2012) ・EUV光源用大型ミラー評価用大型反射率計の構築 2600 mm×2900 mmの大型反射率計をBL10bラインに構築した。EUV露光装置に使われる800 mmコレクターミラーの反射率測定を実施し、その反射強度分布を評価した。 Extreme-ultraviolet collector mirror measurement using large reflectometer at NewSUBARU synchrotron facility (2016) ・水素ガス導入可能なハイパワーEUV光照射チャンバーの構築 BL09に70 Paまでの水素ガス導入可能なチャンバーを構築した。水素ガス雰囲気下、EUV光照射によってMo/Si多層膜ミラー表面の反射率が回復する挙動が観測された。 Hydrogen damage and cleaning evaluation of Mo/Si multilayer using high-power EUV irradiation tool (2021) 3, 新規材料分析系および材料の開発
BL10 Resonant Soft X-ray Scattering（軟X線共鳴散乱法）(2020) Reflection-mode Resonant Soft X-ray Scattering（反射型軟X線共鳴散乱法）(2023) Resonant Soft X-ray Reflectivity（軟X線共鳴反射率法）(2019) Reflection Type Soft X-ray Projection Microscope（反射型軟X線投影顕微鏡）(2023) Observation Result of Chemical Composition Distribution of Resist Thin Film by Photoemission Electron Microscopy（光電子顕微鏡によるレジスト観察）(2024) 4, 次世代EUV技術開発
次世代EUV技術の１つであるBeyond-EUV照射系をBL10に構築した。Beyond-EUVは波長がEUV光の半分程度の波長であり、理論的にはEUVより微細なパタン形成が可能となる。
Beyond EUV measurement at NewSUBARU synchrotron light facility (2021) 5, X線イメージセンサー開発
90 - 1000 eVの領域全てで量子効率90%以上の高感度X線CMOSイメージセンサーを開発した。
High-exposure-durability, high-quantum-efficiency (>90%) backside-illuminated soft-X-ray CMOS sensor (2020) （随時更新） 高度研の設備
・クラス10クリーンルーム
・電子線リソグラフィ装置 エリオニクスELS-7500 ・自動接触角計 KRUSS DSA30 ・ドライエッチング装置 ・GPC Waters Alliance ・LC-MS Waters Alliance ・ASAP-MS Waters RADIAN ・TGA 島津 TGA-50 ・DSC 島津 DSC-60 plus ・基本的な有機合成実験設備一式 NewSUBARUの設備
・BL-03 (EUVフラッド露光、アウトガス測定)
・BL-09 (EUV干渉露光、ハイパワーEUV照射) ・BL-10 (軟X線反射率、吸収分光、散乱測定) ・クラス100クリーンルーム ・FE-SEM(断面SEM) 日立 SU8600(New!) ・CD-SEM(測長SEM) 日立 S-8840 ・イオンスパッタ 日立 E-1030 ・光干渉式膜厚測定計 東朋テクノロジー TohoSpec3100 ・光干渉式膜厚測定計 大塚電子 OPTM ・スピンコーター ミカサ ・自動スピンコーター ミカサ(New!) ・自動スピン現像装置 ミカサ(New!)
受賞
2025年4月23日
M1 貫里君が国際会議Photomask Japan 2025において"Best Academic Poster Presentation賞"を受賞しました。 2025年3月2日 B4 山﨑君が姫路工業倶楽部を受賞しました。 2025年3月10日 M1 石田君、江渕さんがニュースバルシンポジウム2025にてポスター賞を受賞しました。 2024年4月24日 藤本君が国際会議Photomask Japan 2024 において"Best Academic Poster Presentation賞"を受賞しました。 2024年3月3日 M2 中本君が姫路工業倶楽部賞にて優秀賞を受賞しました。 2023年6月29日 M2 中本君が国際会議ICPST-40にてThe Photopolymer Science and Technology Award, the Best Paper Award2022を受賞しました。 2023年3月13日 B4 藤本君がニュースバルシンポジウム2023にてポスター賞を受賞しました。 2023年2月28日 M2 川上君が大学院工学研究科、修士論文審査会2022にて優秀プレゼンテーション賞を受賞しました。
アクティビティ
2025年9月22日-9月25日
モントレー（米）で開催されるBACUS2025(国際会議)にて、石田君(M2)、江渕さん(M2)、志賀君(M2)がポスター発表を行います。 2025年6月24日-6月27日 姫路で開催されるICPST-42(国際会議)にて、山川先生、志賀君(M2)、山﨑君(M1)が口頭発表を行います。 2025年5月1日 新メンバーに、協力スタッフとして赤井 先生が加わりました。 2025年4月16日-4月18日 横浜で開催されるPhotomask Japan2025(国際会議）にて、早勢先生、石田君(M2)、貫里君(M1)がポスター発表を行います。 2025年4月1日 新メンバーに、助教として早勢 先生、B4学生として4名、協力スタッフとして木下 先生、村松 先生、吉村 さん、米田 さんが加わりました。 2024年11月12日-11月15日 京都で開催されるMNC2024(国際会議)にて、石田君(M1)がポスター発表を行います。 2024年9月30日-10月03日 モントレー（米）で開催されるBACUS2024(国際会議)にて、井口君(M2)、今井君(M2)、笹倉君(M2)、藤本君(M2)がポスター発表を行います。 2024年9月16日-9月20日 新潟で開催される第85回応用物理学会周期学術講演会にて、石田君(M1)、江渕さん(M1)、志賀君(M1)が口頭発表を行います。 2024年7月4日-5日 大岡山で開催されるワークショップ NGL2024にて、江渕さん(M1)、志賀君(M1)がポスター発表を行います。 2024年6月25日-28日 幕張で開催されるICPST-41(国際会議)にて、山川先生、笹倉君(M2)、江渕さん(M1)、志賀君(M1)が口頭発表を行います。 2024年4月16日-4月18日 横浜で開催されるPhotomask Japan2024(国際会議）にて、藤本君(M2)、石田君(M1)がポスター発表を行います。
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