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高度産業科学技術研究所 兵庫県立大学 UNIVERSITY OF HYOGO
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放射光ナノ工学分野(English)


専任staff:

教授:  渡邊 健夫

准教授: 原田 哲男

助教:  山川 進二


秘書:

仙波 彩子


研究分野:

・極端紫外線リソグラフィ技術開発
 EUVレジスト評価系およびレジスト材料の開発
 EUVマスク用欠陥検査技術の開発
 EUV光源用大型ミラー評価
・X線イメージセンサー開発
・新規材料分析系の開発
・量子半導体デバイス開発に向けた基礎研究


協力staff:

特任教授: 寺西 信一
客員教授: 工藤 宏人(関西大学教授)
客員教授: 伴 弘司(高エネルギー加速器研究機構)
客員教授: 堀邊 英夫(大阪市立大学教授)
客員研究員:小池 雅人(量子科学技術研究開発機構)
(敬称略順不同)

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