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高度産業科学技術研究所 兵庫県立大学 UNIVERSITY OF HYOGO
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放射光ナノ工学分野(English)


専任staff:

教授: 渡邊 健夫

助教: 原田 哲男


秘書:

山本 真子


研究分野:

・極端紫外線リソグラフィ技術開発
  EUVレジスト評価系およびレジスト材料の開発
  EUVマスク用欠陥検査技術の開発
  EUV光源用大型ミラー評価
・X線イメージセンサー開発
・新規材料分析系の開発
・量子半導体デバイス開発に向けた基礎研究


協力staff:

特任教授: 木下 博雄、寺西 信一
特任准教授: 工藤 宏人(関西大学准教授)
特任講師: 永田 豊(理化学研究所)
客員教授: 堀邊 英夫
客員研究員: 富江 敏尚(産総研)、小池 雅人(日本原子力研究開発機構)、初井 宇記(理化学研究所)、笹子 勝(Panasonic)、山田 素行(東京大学)
(敬称略順不同)

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