分光器により分光された光を用いて、反射率と透過率を測定できます。特に、極端紫外線領域のMo/Si多層膜や薄膜の透過率を測定することができる世界標準の反射率と透過率系です。この系ではθ-2θステージにより、試料の入射角を変えて透過率と反射率を測定することができます。また、極端紫外光領域のレジスト薄膜の反射率と透過率を測定することができ、レジストの光学定数を測定することができます。

定偏角不等間隔平面回折格子の採用により、分光波長領域で収差が無い、明るい分光器です。
このために、分光波長領域では試料の照射面積は一定です。
光源に偏向電磁石を用いています。

ミラー仕様

フィルター仕様

ビームラインの途中に各種薄膜フィルターを備えることができます。

分光器仕様

定偏角不等間隔格子：600 /mm, 2400 /mm
定偏角：168度

エンドステーションには、θ-2θステージを搭載しており、試料への入射角が可変できます。
反射率の測定再現性は±0.2%、中心波長の測定再現性は約±0.01nmです。

Mo/Si多層膜の反射率測定例