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ニュースバル放射光施設共用促進事業のパンフレット
ニュースバル放射光施設共用促進事業のパンフレット(PDF, 4.5MB)は
こちら
からダウンロードできます。
利用成果詳細
パンフレットに掲載された利用成果の詳細は以下からご覧いただけます。
極端紫外線リソグラフィー用基盤技術の研究開発
新規回折格子(G3)の追加により、EUVレジスト(フッ素)の反応解析だけでなく、Fe、Co、Ni、Cu、Zn等を含む高機能性材料の高精度評価を可能となりました。
世界最大の反射率計を設置し、直径800mmの大型(集光)ミラーの全面測定を可能とし、EUV光源のパワー向上に貢献が可能となりました。
材料分析および光励起反応利用の産業応用
産業用分析ビームラインBL05Aで測定可能なエネルギー領域の両端にあたる元素Mg・Caの吸収スペクトルを測定しました。
放射光を照射することによりSi添加DLCの低地球軌道環境下での耐性を評価しました。
ナノインプリントプロセスで離型剤として用いられるフッ素含有自己組織化膜をBL07Bで光電子分光と吸収スペクトルにより評価しました。
BL09Aに新設した軟X線発光分光器を用いてh-BNのN-K発光スペクトルの出射角依存性を確認しました。
ナノマイクロ加工MEMSおよびナノバイオ応用研究
放射光を用いてPTFE加工技術を開発しマイクロ流体チップへ応用しました。
放射光を用いて微細加工技術を開発し環境分析バイオデバイスへ応用しました。
レーザーコンプトン散乱ガンマ線利用
フランス・星間ガンマ線観測グループが、偏光ガンマ線ビーム(1MeV~74MeV)を使って、衛星搭載ガンマ線偏光計の試験を行いました。
レーザーコンプトンガンマ線による対生成高エネルギー陽電子を用いた材料欠陥の非破壊検査手法を開発しました。
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