ニュースバル放射光施設

• 特別講演１
  　　「半導体技術の今と今後の展望」
  　　東木 達彦（株式会社東芝 半導体研究開発センターリソグラフィプロセス開発部 部長）
• 特別講演２
  　　「SACLAが拓くサイエンス」
  　　石川 哲也（理化学研究所放射光科学総合研究センター長）
• 　　「SPring-8における文科省ナノテクノロジープラットフォーム事業」
  　　片山 芳則（日本原子力研究開発機構 量子ビーム応用研究部門 副部門長）
• 　　「CREST研究：EUVマスク検査用テーブルトップコヒーレント光源の開発」
  　　永田 豊（理化学研究所）
• 　　「空中映像光学素子の開発」
  　　前川 聡（パリティイノベーションズ㈱　代表取締役社長）
• 　　「レーザーコンプトンγ線による対生成陽電子を利用した物質評価への応用」
  　　堀 史説(大阪府立大学大学院工学研究科　准教授)
• 　　「ニュースバル放射光を用いた機能性材料の電子構造評価」
  　　春山 雄一（高度産業科学技術研究所　准教授）
• 　　「ＣＲＥＳＴ研究：ナノインプリントのモールド離型」
  　　松井 真二(高度産業科学技術研究所　教授)

• 1.「NewSUBARU の性能改善」,
  　　庄司善彦（兵庫県立大学高度研）,
  　　皆川康幸、竹村育浩（JASRI/SES）
• 2.「LEENA 電子ビームの高度化に向けたOTR モニターの開発」, 学生ポスター賞
  　　小林花綸(B4)、橋本智、天野壮、宮本修治（兵庫県立大学高度研）,
  　　皆川康幸、竹村育浩（JASRI/SES）
• 3.「放射光ミラー熱歪みの光学的補正」,
  　　松本卓也(B4)、小林花綸、庄司善彦（兵庫県立大学高度研）,
  　　皆川康幸、竹村育浩（JASRI/SES）
• 4.「EUVレジストアウトガス防止膜」,
  　　王暁偉（AZエレクトロニックマテリアルズ）
• 5.「EUVレジスト組成物のノンクリーナブルコンタミへの影響」,
  　　塩原英志、高橋年哉、杉江紀彦、菊池幸子、高木勇、片山和弘、田中 裕之、井上壮一（EUVL基盤開発センター）、
  　　渡邊健夫、原田哲男、木下博雄（兵庫県立大学高度研）
• 6.「ポリヒドロキシスチレン系化学増幅型EUV用レジストのポストベークによる酸の拡散長評価」, 学生ポスター賞対象
  　　江村和也(M1),原田哲男,渡邊健夫,木下博雄（兵庫県立大学高度研）
• 7.「EUVL 用フォトレジストの評価-現像特性-」,
  　　関口淳、山内唯志（Litho Tech Japan）、
  　　渡邊健夫，木下博雄（兵庫県立大学高度研）
• 8.「アクリレート系化学増幅型レジストの高感度化と低LWRの検討」,
  　　山口太都（B4）,原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄（兵庫県立大学高度研）
• 9.「Advances in EUV Under Layer toward 1Xnm patterning」,
  　　西田登喜雄, 大西竜慈, 藤谷徳昌, 坂本力丸（日産化学工業）
• 10.「10 nm 級EUV 干渉露光用透過型回折格子製作プロセスの検討（I）」,
  　　谷野寛仁（B4），福井翼，山口太都, 江村和也, 岡田真, 原田哲男，渡邊健夫，木下博雄（兵庫県立大学高度研）
• 11.「10 nm級EUV干渉露光用透過型回折格子製作プロセスの検討（II）」，
  　　福井翼(B4), 谷野寛仁, 山口太都, 江村和也，岡田真, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄（兵庫県立大学高度研）
• 12.「EUV 光学素子の散乱測定法の開発」,
  　　辻川大地（B4）, 藤野貴大、田中祐輔、原田哲男、渡邊健夫、木下博雄（兵庫県立大学高度研）
• 13.「実露光波長を用いたEUVマスクの多層膜欠陥観察」,
  　　天野剛、寺澤恒男（EUVL基盤開発センター）、
  　　豊田光紀（東北大学）、
  　　原田哲男、渡邉健夫、木下博雄（兵庫県立大学高度研）
• 14.「マイクロコヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡によるEUVマスクの欠陥特性評価」，
  　　田中祐輔(M1)，原田哲男，渡邊健夫，木下博雄（兵庫県立大学高度研），
  　　天野剛, 臼井洋一（EUVL基盤開発センター）
• 15.「高次高調波を使用したコヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡によるEUVマスク観察の高度化」，
  　　藤野貴大(B4), 田中祐輔, 原田哲男, 渡邊健夫 ,木下博雄（兵庫県立大学高度研，JST-CREST）,
  　　永田豊（理化学研究所，JST-CREST）
• 16.「多層膜回折格子用のW/Si多層膜の製作」，
  　　九鬼真輝（B4），原田哲男，渡邊健夫，木下博雄（兵庫県立大学高度研）
• 17.「多目的ビームラインBL10 における軟Ｘ線吸収分析(1);工業炭素材料のXANES 測定」,
  　　植村智之(M1)，南部啓太，村松康司（兵庫県立大工）,
  　　原田哲男，木下博雄（兵庫県立大学高度研）
• 18.「多目的ビームラインBL10 における軟Ｘ線吸収分析(2);液体有機試料のXANES 測定」,
  　　南部啓太(B4), 植村智之, 村松康司（兵庫県立大工）,
  　　原田哲男, 木下博雄（兵庫県立大学高度研）
• 19.「リチウムイオン二次電池への放射光XAFS の応用」,
  　　硲和輝(M2), 篭島靖（兵庫県立大理）,
  　　横山和司，佐久間靖博，竹田晋吾，李雷，野瀬惣市（兵庫県立大学産学連携機構）,
  　　植村智之，南部啓太，村松康司（兵庫県立大工）,
  　　原田哲男，渡邊健夫，木下博雄（兵庫県立大学高度研）
• 20.「フルプロトコルLab-on-a-CDの作製」,
  　　國貞武志（M1），能勢博喜，石澤昌樹，黒田量久，山口明啓，内海裕一（兵庫県立大学高度研）
• 21.「3次元Lab-on-a-CDにおけるミキシング構造検討」,
  　　黒田量久(M1), 有末康人, 石澤昌樹, 國貞武志, 内海裕一, 山口明啓（兵庫県立大学高度研）
• 22.「立体型マイクロ磁気インピーダンスセンサの作製と評価」,
  　　山本敏寛(M1), 寄玉侑司,内海裕一, 山口明啓（兵庫県立大学高度研）,
  　　内山剛(名古屋大学)
• 23.「空中映像生成のための放射光を用いたミラーアレイデバイスの作製」，学生ポスター賞対象
  　　山根朋久(M1)，内海裕一（兵庫県立大学高度研），
  　　前川聡（パリティイノベーションズ）
• 24.「銀ナノ構造体を用いたSERS 測定」,
  　　原亮平(M1)、高橋亮、福岡隆夫、内海裕一、山口明啓（兵庫県立大学高度研）
• 25.「弾性表面波デバイスを用いた粉体輸送に関する研究」，
  　　松井優耶(M1)，有末康人，才木常正，内海裕一，山口明啓（兵庫県立大学高度研）
• 26.「ポスト壁導波路によるマイクロ波加熱用マイクロ流体チップの研究」,
  　　佐々木亮(M1), 山口明啓、内海裕一（兵庫県立大学高度研）,
  　　岸原充佳（岡山県立大学）
• 27.「産業用分析ビームライン（BL05）の高度化について」,
  　　長谷川孝行、上村雅治、深田昇、鶴井孝文、清水政義、横井信生（シンクロトロンアナリシスＬＬＣ）,
  　　神田一浩（兵庫県立大学高度研）
• 28.「軟Ｘ線源を用いたSiGe濃度傾斜多層膜のTEM観察」,
  　　草壁史（M1），丸山裕樹（M2）, 部家彰，松尾直人（兵庫県立大学院工）,
  　　神田一浩，望月孝晏（兵庫県立大学高度研），
  　　伊藤和博，高橋誠（大阪大学接合研）
• 29.「放射光照射による石英系ガラス膜の表面改質とその深さ方向分析」,
  　　木村学(B4)、梅地宏明、森脇和幸（神戸大学院工）、
  　　神田一浩、松井真二（兵庫県立大学高度研）
• 30.「軟Ｘ線照射によるSi含有DLC膜における構造変化の解明」,
  　　今井亮(M1)、新部正人, 神田一浩（兵庫県立大学高度研）、
  　　鈴木常生（長岡技大）
• 31.「原子状酸素照射によるTi含有DLC膜の表面状態変化」,
  　　貴傳名健悟(M1)，新部正人，神田一浩（兵庫県立大学高度研），
  　　横田久美子，田川雅人（神戸大院工），
  　　小松啓志，齋藤秀俊（長岡技大）
• 32.「軟X線照射によるTiO2薄膜のXASスペクトル形状の回復」,
  　　佐野桂治(M1)，新部正人（兵庫県立大学高度研），
  　　川上烈生（徳島大院工），
  　　中野由崇（中部大総工研）
• 33.「ＵＶアシストHeプラズマによりエッチングしたn-GaN結晶の表面ダメージの分析」,
  　　新部正人，平井翔大（兵庫県立大学高度研），
  　　川上烈生，白濱達夫（徳島大院工），
  　　中野由崇（中部大総工研），
  　　向井孝志（日亜化学）
• 34.「イオンビームエッチングした窒化ガリウム結晶の評価」,
  　　平井翔大(B4)、新部正人（兵庫県立大学高度研）
• 35.「室温合成アモルファスカーボンナノロッドの軟X 線分光分析」，
  　　田村僚介(M1),本多信一（兵庫県大工）
  　　新部正人，寺澤倫孝（兵庫県立大学高度研）
  　　平瀬龍二，泉宏和，吉岡秀樹（工技センタ）
  　　庭瀬敬右（兵庫教育大）
  　　田口英次（阪大電顕）
  　　和賀井達也，大浦正樹（SPring-8）
• 36.「TEY, TFYの併用によるSn表面酸化状態の深さ分析手法の検討」，
  　　米村 卓巳、飯原 順次、山口 浩司（住友電工）,
  　　新部 正人（高度研）
• 37.「プラズマ軟X 線による有機ポリマー材料の微細加工」,
  　　天野壮、井上智章（兵庫県立大高度研）
• 38.「ナノインプリントグラフォエピタキシー」,
  　　岡田真、春山雄一、松井真二（兵庫県立大学高度研）,
  　　西岡江美、近藤瑞穂、川月喜弘（兵庫県立大学工）,
  　　小野浩司（長岡技大）
• 39.「PDMS 離型剤添加HSQ で作製したレプリカモールドの評価」,
  　　菅野矩弘(B4), 岡田真, 春山雄一，松井真二（兵庫県立大高度研）
• 40.「原子力機構におけるナノテクノロジープラットフォーム事業」,
  　　小西啓之、寺岡有殿、片山芳則, （日本原子力研究開発機構）

#学生ポスター賞：学生のポスター発表を対象に高度研教員およびセミナー参加者（学生を除く）による投票により 優秀な発表を行った学生2~3名を選考します。