ニュースバル放射光施設

兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所では、文部科学省「先端研究施設共用促進事業」として、ニュースバル放射光施設共用促進事業を実施しています。産業界や外部研究機関からのニュースバル放射光施設の共用を促進すると共に、震災被災研究施設・研究者の支援事業や、企業人材育成活動等を広く行なっています。
　昨年度に引き続き、下記のように「NewSUBARUシンポジウム」を開催いたします。今回のシンポジウムでは、ニュースバルの主要利用テーマである、極端紫外光リソグラフィー関連研究、放射光産業用分析利用、放射光によるナノ・マイクロ加工研究、レーザ・コンプトン散乱ガンマ線利用成果を報告するとともに、立命館大学SRセンターなど他の先端研究施設との連携利用に関してもご紹介したいと思います。また、研究所内３研究開発センター（EUVリソグラフィー、ナノインプリント、LIGAプロセス）の成果もご紹介します。
　本事業の趣旨にご理解をいただき、是非ご参加いただけますようご案内申し上げます。

NewSUBARUシンポジウム2012のご案内(PDF版）

日時：　平成24年11月22日(木)
　　　　　13:30～18:00　講演会
　　　　　18:15〜20:00　交流会・ポスターセッション
場所：　東京ステーションコンファレンス（サピアタワー）
　　　　　講演会場　602BCD、　交流会場　605AB
主催：　兵庫県立大学高度産業科学技術研究所、兵庫県立大学産学連携機構　
共催：　立命館大学SRセンター
後援・協賛：ひょうご科学技術協会、日本放射光学会、レーザー学会、電気学会 光・量子デバイス技術委員会、電気学会 リソグラフィー次世代技術調査専門委員会、応用物理学会次世代リソグラフィ技術研究会、応用物理学会ナノインプリント技術研究会・シリコンテクノロジー分科会、SPring-8利用推進協議会、 21世紀播磨科学技術フォーラム、合同会社シンクロトロンアナリシスLLC、（株）トヤマ、明昌機工（株）、VGシエンタ（株）、（株）カワハラ技研、ツルイ化学（株）、誠南工業（株）、共和溶材（株）（順不同）

• 13:30　開会挨拶
  兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所長　宮本修治 教授
  
• 13:35　挨拶
  兵庫県立大学 副学長・産学連携機構長　太田 勲 教授
  
• 13:45　来賓挨拶
  文部科学省 基盤研究課 柿田 恭良 課長
  
• 14:00-14:45　特別講演
  「ナノエレクトロメカニカルシステム（NEMS）の新展開」
  東京大学工学系研究科機械工学　石原 直 教授
  
• 14:45-15:15　報告
  「ニュースバルにおける極端紫外光リソグラフィー研究」
  高度産業科学技術研究所　EUVL研究開発センター長　木下 博雄教授
• 15:15-15:35　報告
  「ニュースバルナノマイクロ加工の特長と実用応用」
  高度産業科学技術研究所　LIGAプロセス研究開発センター長　内海 裕一教授
• 15:35-16:00　休憩
• 16:00-16:45　特別講演
  「地域型放射光施設による産業利用」
  立命館大学SRセンター長　太田 俊明教授
• 16:45-17:05　報告
  「放射光分析を用いた産業振興と地域連携」
  高度産業科学技術研究所　神田 一浩教授
• 17:05-17:25　報告
  「機能性材料へのナノインプリント」
  高度産業科学技術研究所　ナノインプリント研究開発センター　岡田 真助教
• 17:25-17:45　報告
  「ガンマ線ビーム光源開発と利用研究」
  高度産業科学技術研究所　宮本 修治教授
• 17:45　閉会挨拶
• 18:15-20:00　交流会・ポスターセッション
  

• 「6.7nmレーザープラズマEUV光源の開発」
  天野壮
  
• 「NEXAFS測定による光反応性高分子液晶の配向性評価」
  春山雄一、岡田真、西岡江美、近藤瑞穂、川月喜弘、松井真二
  
• 「NewSUBARUの性能向上」
  庄司善彦、皆川康幸、竹村育浩
  
• 「小型電子線型加速器LEENAによるテラヘルツ光源開発の現状」
  橋本智、陳彩華、川田健二、天野壮、宮本修治
  
• 「NEXAFSを用いたc-BN薄膜成長初期の構造変化の観察」
  新部正人
  
• 「DLC膜を用いた宇宙工学部品への応用に関する研究」
  今井亮、福田和弘、神田一浩、岡田真、松井真二、横川貴啓、三浦永理、 山﨑徹、赤坂大樹、鈴木常生、小松啓志、斎藤英俊
  
• 「EUVリソグラフィー用マスクの評価技術の開発」
  原田哲男
  
• 「SR吸収分光の解析に基づいた高感度かつ低LWRを有するEUVレジストの開発指針」
  渡邉健夫、塩野大寿、江村和也、浦山拓郎、大森克実、佐藤和史、原田哲男、木下博雄
  

(1) 参加料： 無料（但し、交流会・ポスターセッションは実費（3,000円）を負担していただきます。）
(2) 参加申込方法： 参加申込書(PDF、Word(doc))にご記入のうえ、
　　FAX(0791-58-2504)またはE-mail(kyoyo@lasti.u-hyogo.ac.jp)でご連絡ください。　

兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
ニュースバル放射光施設　共用促進室
石川　和子　
〒678-1205 兵庫県赤穂郡上郡町光都1-1-2
TEL: 0791-58-2543　　FAX: 0791-58-2504　
E-mail: kyoyo@lasti.u-hyogo.ac.jp