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ナノマイクロ加工、及びMEMS、ナノバイオ応用研究開発

製造産業、高度情報通信、医療、環境・エネルギー等の先端産業において幅広い用途が期待されている「ナノマイクロシステム」の研究開発を行い、数多くの産学連携大型プロジェクトの実績があります。現在の機械加工技術では到達できていないμmレベル以下の3次元微細加工がA4サイズにわたって可能な唯一の設備であり、電気鋳造を用いた精密金型作製から樹脂成形に至る一連の量産プロセスの確立を図っています。また3次元構造を利用したユニークな機能集積型のバイオデバイスの提案とその機能実証も行っています。

8x8光スイッチ ※写真(左)

末端用の光スイッチです。光路の切り替えを行うミラーと静電カンチレバーの最重要部品を放射光を用いて作製し、精度の高い動きを達成しています。

集積化DNA鎖長解析チップ ※写真(右)

従来のタイタープレートフォーマットに、9mmx9mmの世界最小面積のDNA鎖長解析ユニットを96個集積しました。また試料プラグの拡散を押さえ、分離分解能を20bpまで上げることに成功しました。従来のゲル電気泳動の600倍のスループットが得られます。



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