ニュースバル放射光施設

BL05 産業用分析ビームライン

目的

ニュースバル放射光施設の産業用の分析利用を促進するためにビームラインです。産業界のニーズに対応するため、ニュースバル放射光光源の特長である軟X線領域に特化したXAFS（X線吸収微細構造：NEXAFS,EXAFS）測定、XPS測定用の軟X線分光分析ビームラインです。物質・材料を構成する元素の化学状態・結合状態・隣接原子との距離などが解析できます。

構成

2分岐ビームライン　BL05A,　BL05B

ミラー・分光器の仕様

BL05Aの光学素子の特性

光学素子	型式	接線方向半径 (m)	矢状方向半径 (m)	被覆材	基板	大きさ L×W(mm)
M0	Toroidal	418.28±5%	0.1274±5%	Au	Si	200×30
M1	Toroidal	229.2±5%	0.0698±5%	Au	Si	200×30

BL05Bの光学素子の特性

光学素子	型式	接線方向半径 (m)	矢状方向半径 (m)	被覆材	基板	大きさ L×W(mm)
M0	Sylindrical	171.9±5%	∞	Au	Si	500×50
M1	Sylindrical	171.9±3%	∞	Au	Si	300×30
M2	Spherical	229.2±3%	229.2±3%	Au	Si	250×30
Mf	Toroidal	114.6±5%	0.0611±5%	Au	Si	250×30
Grating	Plane	∞	∞	Au	Si	200×30

分光器の仕様（詳細）

二結晶分光器

ゴロブチェンコ型二結晶分光器にInSb((111), Si（111）などの結晶を備え、1300-4000 eVをカバーします。取り込み角度は約7 mradです。入射光は前置トロイダルミラーによって平行光にされ、二結晶分光器で分光された光が後置トロイダルミラーで観測点に集光されます。BL05Aでは、全電子収量法とSDD（SⅠⅠ, Vortex）を用いた蛍光収量法によるXAFS測定が可能です。

回折格子分光器

前置集光球面鏡と3枚の不等間隔刻線平面回折格子（VLSPG）を用いた定偏角分光器を備え、50-1300eVをカバーします。BL05Bの取り込み角度は約3 mradです。入射光は第１ミラー（M0：縦置き縦集光円筒鏡）と第2ミラー（M1：横置き横集光円筒鏡）を通り、入射スリット（S1）上に集光されます。S1を通った光は前置集光球面鏡（M2）を通って回折格子で分光され、出射スリット（S2）を通った光が後置鏡（Mf）で観測点に集光されます。

エンドステーション

BL05A

BL05Aでは、全電子収量法とSDD（SII, Vortex）を用いた蛍光収量法によるXAFS測定が可能です。エンドステーションは、Be窓を用いてHe置換により大気圧で測定が可能であり、固体試料のほか、液体試料にも適用できます。最大25×25 mmの大きさの試料を取り付けることができる試料ホルダーを真空内に８個保持することができ、ステッパーモーター駆動で測定位置を変えることができます。

BL05B

BL05BエンドステーションにはXAFS測定用の高真空チャンバーと光電子分光用の超高真空チャンバーの2基が備わっています。各チャンバーの前には差動排気系が設置されており、2つのチャンバーは１時間程度で交換が可能です。XAFS測定は全電子収量法とSSD（EDAX）を用いた蛍光収量法が利用可能です。最大25×25 mmの大きさの試料を取り付けることができる試料ホルダーを真空中で16個保持することができます。測定チャンバー内ではステッパーモーター駆動で制御可能であり、迅速に測定ができます。

X線光電子分光器：電子アナライザー（VG Scienta、R3000）の分解能

電子エネルギー [eV]	保証された解像度 [meV]	測定解像度 [meV]	保証された分解能	測定分解能
2	3.0	2.2	667	909
5	5.0	4.4	1000	1136
10	10.0	8.8	1000	1136
20	20.0	16.5	1000	1212

試験装置：0.8 mmのキャピラリーを有するScienta GC-50 ガスセル.
Scienta VUV-5000UV-source.　キセノン-ガス (純度>90 %).

共用促進

50eV～4,000eV全領域のXAFS（NEXAFS、EXAFS）測定、50～1300eV領域のXPS測定
XAFSは全電子収量法、蛍光収量法による測定が可能です。
合同会社シンクロトロンアナリシスLLCによる測定支援、測定代行により運用します。