産業用分析ビームラインの高エネルギーブランチラインBL-5Bは二結晶分光器を備え、1300-4000eVのエネルギー範囲で利用可能な分光測定ラインです。2010年度第4サイクルに立ち上げ調整を行い、スペクトル測定が可能になりました。右図は様々な化合物のSi K端におけるNEXAFSスペクトルです。化合物による局所構造の違いを鮮明に捉えています。