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| 昭和60年6月 工学基礎研究所開設 |
| 平成6年4月 高度産業科学技術研究所開設（工学基礎研究所を改組、改名）２大部門８分野制構想 |
| 平成6年4月 光・量子科学技術大部門の「光科学技術」研究分野開設 |
| 平成7年7月 光・量子科学技術大部門の「電磁加速工学」及び「ビーム利用技術」研究分野開設 |
| 平成7年11月 ニュースバル構想推進プロジェクトチーム結成。 |
| 平成7年11月 高度研スタッフを中心に県教育課、営繕課、設備課、JASRI（SPring-8共同チーム）が参加。 |
| 平成8年7月 ニュースバル装置本体（1.5GeV蓄積リング、高周波加速部、挿入光源）を発注。 |
| 平成8年7月 （ニュースバル利用検討委員会）産官学の有識者（研究者）23名に委員委嘱。 |
| 平成8年11月 ニュースバル実験研究棟を発注。 |
| 平成9年1月 ニュースバル実験研究棟現地工事着工。 |
| 平成10年1月 ニュースバル実験研究棟完成。 |
| 平成10年12月 光応用・先端技術大部門の「新素材開発」研究分野開設 |
| 平成12年1月 ニュースバル放射光施設供用開始 |
| 平成12年2月 光応用・先端技術大部門の「光計算機応用技術」研究分野開設 |
| 平成12年4月 光応用・先端技術大部門の「イオン工学（寄付）」研究分野開設 |
| 平成19年3月 光応用・先端技術大部門の「イオン工学（寄付）」研究分野書写に移設 |
| 平成22年10月 「EUVリソグラフィー研究開発センター」「ナノインプリント研究開発センター」を設置 |
| 平成24年4月 「LIGAプロセス研究開発センター」を設置 |
| 平成28年3月 「ナノインプリント研究開発センター」を廃止 |
| 平成28年8月 「放射光先端分析研究センター」を設置 |
| 令和2年8月 ニュースバル放射光施設、入射器新設工事のため長期運転停止 |
| 令和3年4月 ニュースバル放射光施設、新入射器による利用運転再開 |
| 令和6年3月 「LIGAプロセス研究開発センター」を廃止 |
| 令和6年3月 光応用・先端技術大講座の「ナノマイクロシステム」研究分野を廃止 |
| 令和6年4月 光応用・先端技術大講座の「放射光マイクロスコピー」研究分野を開設 |
令和6年現在 ２大講座（光・量子科学技術, 光応用・先端技術）
５分野（機能性マテリアル物性, ビーム物理学, ナノ構造科学, 放射光ナノ工学, 放射光マイクロスコピー）
２センター（EUVリソグラフィー研究開発センター, 放射光先端分析研究センター）で運営中 |
