メンバー

大学院生・学部学生

2017年度

B4 横内 翔(よこうち しょう)

  研究テーマ:大気圧Heパスを用いた軟X線吸収分光測定技術の開発

 学会発表等:

   横内翔,新部正人:

   “大気圧Heパスを用いた軟X線吸収分光測定技術の開発”

   先端技術セミナー2018,ポスター#20, 2018年 3月 13日(イーグレ姫路,姫路市).

 

   新部正人:”ニュースバル放射光施設における軟X線発光分光法およびHeパス吸収分光法の開発”

   日本表面真空学会 H30年度関西支部セミナー(大阪大学、吹田キャンパス)2019年2月1日.

 

2016年度

M2  荒木 佑馬(あらき ゆうま)

  研究テーマ:酸素プラズマ照射によるTiO2薄膜の光触媒活性の改善

  学会発表等:

   Masahito Niibe, Takashi Tokushima, Noritaka Takehira, and Yuma Araki:

   ”Large take-off angle dependence of C-K emission spectra observed in highly oriented pyrolytic graphite”

   J. Electron Spectrosc. Relat. Phonom., DOI: 10.1016/j.elspec.2017.02.001, (2017).

  

  1.    荒木佑馬、新部正人、川上烈生、竹平徳崇、中野由崇

   “TiO2 薄膜のプラズマ処理試料のXPS法による組成と触媒活性の相関”
   第30回日本放射光学会シンポジウム,2B004, 2017年1月(神戸芸術センター)

 

  1.    荒木佑馬、竹平徳崇、新部正人、川上烈生、中野由崇

   “TiO2薄膜のプラズマ処理試料のXPS法による組成と触媒活性の相関”

   第52回X線分析討論会講演要旨集,P33S, 2016年10月(筑波大学東京キャンパス)

 

 

M2 竹平 徳崇(たけひら のりたか)

  研究テーマ:ニュースバル軟X線発光分光器を用いたグラファイト材料の分析

 学会発表等:

   Masahito Niibe, Noritaka Takehira, and Tahashi Tokushima:

   ”Construction and Performance of the Compact Soft X-ray Emission Spectrometer at BL-09A in NewBUBARU SR Facility”

   5th Annual Congress of AnalytiX-2017, 22-24 Mar. 2017, Fukuoka, Japan.

 

  1.    竹平徳崇、新部正人、徳島高

   “各種グラファイトのC-K, B-K吸収および発光分析”

   第30回日本放射光学会シンポジウム,2B004, 2017年1月(神戸芸術センター)

 

  1.    竹平徳崇、新部正人、徳島高、岩田忠夫

   “微量BドープしたグラファイトにおけるB-K線吸収・発光スペクトルの入・出射角依存性とバンド構造変化”
   第52回X線分析討論会講演要旨集,P32S, 2016年10月(筑波大学東京キャンパス)

 

B4

   田中 良(たなか りょう)

  研究テーマ:酸素及び窒素プラズマ誘因ダメージを受けたAlGaN薄膜の表面構造分析

        "Surface Structure Analysis of AlGaN thin films damaged by Oxygen and Nitrogen Plasmas"

 学会発表等:

  1.    田中良、新部正人、川上烈生、中野由崇、向井孝志

   “酸素および窒素プラズマ処理したAlGaN膜の表面分析”
   第30回日本放射光学会シンポジウム,2B004, 2017年1月(神戸芸術センター)

 

 

 

所内_協力研究グループ


  神田研究グループ
  天野研究グループ
  BL5実務者会議

 

 

卒業・修了生

 

2015年度 M 平井翔大

  修論テーマ:Ar, CF4および紫外光アシストCF4プラズマでエッチングしたALGaN膜の表面分析

 

2014年度 M 佐野 桂治

  修論テーマ:TiO2材料の軟X線照射によるNEXAFSスペクトルの回復現象の研究

     B 伊藤 渉

  卒論テーマ:極性反転デバイスのためのAlN薄膜の作製と評価

 

2012年度 M 小高 拓也

  修論テーマ:ニュースバルBL9aにおける発光を利用した分光測定法の開発

 

2009年度 B 前田 佳恵

  卒論テーマ:スパッタリング法で作製する窒化ホウ素薄膜中の酸素混入の抑制

 

2008年度 M 古井田 啓吾

  修論テーマ:極端紫外線リソグラフィー様投影光学系ミラーの

        コンタミネーション防止機構の研究

 

2007年度 M 宮本 和佳

  修論テーマ:反応性マグネトロンスパッタリング法による硬質窒化物薄膜の作製と評価

 

2003年度 B 垣内 和也

  卒論テーマ:軟X線多層膜のEUV光照射による性能劣化防止の研究

 

2002年度 M 向井 幹人

  修論テーマ:多層膜偏光子の開発とアンジュレータ光の偏光特性評価

 

2000年度 M 田中 健

  修論テーマ:放射光光学素子の開発および長尺アンジュレータービームラインの特性評価

 

1999年度 M 宮藤 篤史

  修論テーマ:堆積法による非球面形状の創製

 

1995年度 M 二位 肇

  修論テーマ:軟X線多層膜ミラーの応力制御法の開発

 

 

ポスドク

2003〜2007年度 角谷 幸信

  研究テーマ: EUVL投影光学系のコンタミネーション防止機構の開発

 

 

客員研究員

2014年度〜   徳島 高 (理研、播磨研究センター)

  研究テーマ: 軟X線発光分光装置の整備・調整

2013年度    小高 拓也

  研究テーマ:軟X線発光分光装置の高度化の研究

2010〜2012年度 坂元 誠(西はりま天文台)

  研究テーマ:2m望遠鏡主鏡コーティング装置と実施環境の開発

2008〜2010年度 三田村 徹

  研究テーマ:軟X線発光分光装置の開発

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