New SUBARU BL9a

 

Welcome to NewSUBARU BL9 HP

BL担当者:新部正人 niibe@lasti.u-hyogo.ac.jp

 

 

<研究目的>

 本ビームラインはニュースバル長尺アンジュレータ(LU)より発生する部分コヒーレントな放射光を利用し、軟X線結像光学系の波面収差を干渉計測することや高輝度放射光を用いた材料分析研究を目的としています。
現在BL9で研究されているテーマは主に3つあり、それらは


1.極端紫外線(EUV)干渉計によるEUV露光光学系の波面収差計測法の開発
2.EUV露光装置のコンタミネーション防止機構の研究
3.高輝度軟X線を用いた吸収・発光分光実験ステーションの開発
です。

 

<光源>
<ビームライン>
<分光器>
<アンジュレータスペクトル>
<偏光性>

<NS-HP_BL9>

 

 

<光源>

光源は全長約11mの長尺アンジュレータ(LU)です。Planar型で、遮蔽トンネル内に設置されています。下表にLUの特性およびニュースバルの現在運転中のビームパラメータを示します。

 

Fig. 1 : ニュースバル長尺アンジュレータ(10.8 m)

 

 

表1.ニュースバル長尺アンジュレータ(LU)のパラメータ

電子ビームエネルギー (1.0 GeV) (1.5 GeV)
全長 10.8 (m)
周期長/周期数 54 (mm) / 200 54 (mm) / 200
Kmax 2.5 2.5
出力光エネルギー 1st 60 - 170 (eV) 110 - 330 (eV)
出力光エネルキー 3ed 180 - 450 (eV) 300 - 1000 (eV)
蓄積電流 250 mA (topup mode), 350 mA (decay mode)
エミッタンス 40 (nm*rad)
30 (設計値)
〜80 (nm*rad)
67 (設計値)
xyカップリング 〜4 % 〜1 % (non-shaker)
エネルギー拡がり 0.05 % 0.07 %
LU中心でのβ βx: 1.67 (m), βy: 6.71 (m) βx: 〜2 (m), βy: 〜7 (m)

 

[1]

"ニュースバルの到達点"
安東愛之輔、服部正、細野和彦、神田一浩、木下博雄、松井真二、銘苅春隆、新部正人、内海裕一、渡邊健夫
放射光、15, 366-346 (2002).

[2]

"Beam Based Search for Linear Imperfection Field in 11m Long Undulator at NewSUBARU",
Y. Shoji, S. Miyamoto, M. Niibe, S. Hashimoto, A. Ando:
Synchrotron Radiation Instrumentation, AIP Conf. Proc. 705, 247-250 (2004).

 

 

<ビームライン>

 Fig.2に回折格子分光器ビームライン(BL9)の模式図を示します。初段のミラーM0は遮蔽トンネル内に置かれ、水平方向の偏向と集光を行う球面鏡です。M1,回折格子、出射スリットで分光器(Monk-Gillieson型不等間隔溝平面回折格子分光器)を構成します。M2は鉛直方向、倍率1の偏向・集光を行う球面鏡です。M0上流およびM0−M1間に4象限スリット(4WS, 4Q)があります。M0、M2の下流に光電板、 SLIT(S2)下流にSiフォトダイオード検出器があります。

 

 

 

 

<分光器とBLの性能>

分光器とBLの性能は下表2の様です。

表2 BL9分光器の性能

マウント Monk-Gillieson Type 定偏角回折格子分光器
回折格子 不等間隔刻線平面回折格子(3種類)
300 l/mm(Au), 900 l/mm (Au), 1200 l/mm(Ni)
エネルギー分解能 E/ΔE〜550   at Slit=250 μm
E/ΔE〜数1000 at Slit=25 μm
BL終端での光子数 1 E13 (photons/sec/100mA) (実測)

 

Fig. 3(a)に、BL9で測定したエネルギー92 eV付近でのクリプトンガス(Kr)の光イオン化スペクトル(3d5/2,3/2 → np遷移)を示します。出射スリットを50μmの時の理論分解能λ/Δλは2500です。

 

 

 

 

 

(a)                          (b)
 Fig. 3.BL9で測定した(a): クリプトンガス(Kr)の光イオン化スペクトル(3d5/2,3/2 → np遷移)

および (b): フラーレンC60の軟X線吸収スペクトル

 

 

 

 

<長尺アンジュレータスペクトル>

 Fig. 4に蓄積電子エネルギー1.5GeV時のLU1次光スペクトルを示します。波長13.1nmにおける1次光の相対バンド幅λ/Δλは約70です。
Fig. 5に1.0GeV運転時のGap=33 mmにおけるスペクトルを示します。

 

Fig. 4. 蓄積電子エネルギー1.5GeV時のLU1次光スペクトル

 

 

Fig. 5. 蓄積電子エネルギー1.0GeV, gap=33 mmにおけるLUスペクトル

 

[3]

"Characterization of Light Radiated from 11m Long Undulator",
M. Niibe, M. Mukai, S. Miyamoto, Y. Shoji, S. Hashimoto, A. Ando, T. Tanaka, M. Miyai, and H. Kitamura:
Synchrotron Radiation Instrumentation, AIP Conf. Proc. 705, 576-579 (2004).

 

 

 

<偏光性>

 多層膜回転検光子検出器を用いて、LU光の偏光度を評価した。Fig. 6に本BLで開発した検光子検出器と、それを用いて測定した検出器強度の方位角依存性を示す。

 

Fig. 6. 蓄積電子エネルギー1.0GeV, gap=33 mmにおけるLUスペクトル

 

 

[4]

"Polarization Property Measurement of the Long Undulator Radiation Using Cr/C Multilayer Polarization Elements", 
M. Niibe, M. Mukai, H. Kimura, and Y. Shoji:
Synchrotron Radiation Instrumentation, AIP Conf. Proc. 705, 243-246 (2004).

 

 

 

  
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