国内会議(Domestic meetings)

<研究業績>

 

3.国内学会など (2003 ~ )

 

2019年

  1. 新部正人,鈴木哲,本多信一

“単層および数層グラフェンの軟X線吸収/発光スペクトル”
第66回応用物理学会春季学術講演会,9p-W521-1, 2019年3月(東京工業大学,大岡山C)

 

  1. 部家彰,新部正人,松尾直人

“気相中での原子状水素とペンタセン分子との反応”
第66回応用物理学会春季学術講演会,9p-PB3-5, 2019年3月(東京工業大学,大岡山C)

 

  1. 部家彰,新部正人,松尾直人

“ホットメッシュ堆積法で作製したナノカーボン膜の分子配向評価”
第66回応用物理学会春季学術講演会,10p-PB5-5, 2019年3月(東京工業大学,大岡山C)

 

  1. 石原知子, 加藤 優, 新部正人, コ島 高, 堀川裕加, 永山まゆみ, 林 灯, 植野一輝, 橋本由介, 大浦正樹, 八木 一三

“膜電極接合体カソードにおける電極表面酸素種の軟X 線分光計測”
2019年 電気化学会第86回大会 2019年3月、(京都大学,吉田キャンパス)

 

  1. 新部正人、鈴木哲、徳島高

“微量ホウ素含有HOPGおよび単原子層窒化ホウ素薄膜の軟X線発光分光
第13回日本ホウ素・ホウ化物研究会、2019年2月23日(長岡技術科学大学)

 

  1. 新部正人、徳島高、堀川裕加、吉田啓晃

“原子状水素による炭素汚染のオンサイト洗浄法の開発”
第32回日本放射光学会年会シンポジウム,10P004, 2019年1月(福岡国際会議場,福岡市)

 

  1. 新部正人、鈴木哲、徳島高

“単原子層h-BN膜のB-KおよびN-K発光スペクトル”
第32回日本放射光学会年会シンポジウム,6F001, 2019年1月(福岡国際会議場,福岡市)

 

  1. 鈴木哲、春山雄一、新部正人、徳島高、山口明啓、内海裕一、伊東篤志

“拡散・析出法により形成した単層h-BN/Niの XASとXES”
第32回日本放射光学会年会シンポジウム,6P002, 2019年1月(福岡国際会議場,福岡市)

 

  1. 中尾嘉宏、新部正人、大浦正樹、高橋修、安達建太、堀川裕加

“軟X線分光法を用いた酸化タングステン表面に吸着したフェニルアラニンの電子状態観測”

第32回日本放射光学会年会シンポジウム,11P054, 2019年1月(福岡国際会議場,福岡市)

 

2018年

  1. 新部正人、鈴木哲、本多信一

“単層グラフェンおよびh-BNシートの軟X線吸収・発光スペクトル測定”
第54会X線分析討論会O2-16, 2018年10月(東京理科大神楽坂キャンパス、東京都新宿区)

 

  1. 鈴木哲、新部正人、徳島高、春山雄一、山口明啓、内海裕一、伊東篤志

“拡散・析出法により形成した単層h-BN/Niの X線発光分光”
第79回応用物理学会秋季学術講演会,18p-224B-1, 2018年9月(名古屋国際会議場,名古屋市)

 

  1. 惠良将輝、市川優史、新部正人、寺澤倫孝、藤井俊治カ、本多信一、肥後祐司、庭瀬敬右、岩田忠夫、新名享、大藤弘明、入船徹男

“中性子照射HOPGの高温高圧処理による圧縮グラファイトの形成”
第79回応用物理学会秋季学術講演会,18p-PB3-86, 2018年9月(名古屋国際会議場,名古屋市)

 

  1. 神田一浩、鈴木就斗、新部正人、長谷川孝行、斉藤秀俊

“Si含有DLC膜の局所構造解析”
第79回応用物理学会秋季学術講演会,20a-PB9-4, 2018年9月(名古屋国際会議場,名古屋市)

 

  1. 新部正人、鈴木哲、徳島高

“単原子層h-BN薄膜の軟X線発光スペクトルの測定”

第79回応用物理学会秋季学術講演会,20P-222-19, 2018年9月(名古屋国際会議場,名古屋市)

 

  1. 芳谷 勇樹, 川上 烈生, 小出 洋史, 見 直樹, 杉本 典優, 見谷 皇章, 新部 正人, 中野 由崇, 東 知里, 向井 孝志 :
    アナターゼ型TiO2 ナノ粒子への加熱を伴うO2誘電体バリア放電プラズマ処理効果,
    平成30年度電気関係学会 四国支部連合大会 講演論文集, 25, 2018年9月
川上 烈生, 芳谷 勇樹, 新部 正人, 中野 由崇, 東 知里, 向井 孝志 :
AlGaN薄膜表面へのCF4プラズマ処理中に及ぼす紫外光同時照射効果,
平成30年度電気関係学会 四国支部連合大会 講演論文集, 26, 2018年9月

 

  1. 新部正人、原田哲男、部家彰、渡邊健夫、松尾直人:

“原子状水素を用いたNiコートミラーの炭素汚染の除去”

第31回日本放射光学会シンポジウム,9P024, 2018年1月(つくば国際会議場、つくば市)

 

2017年

  1. 新部正人、竹平徳崇、徳島高: 

“微量ホウ素をドープしたHOPGのB-K発光および吸収スペクトル”
第64回応用物理学会春季学術講演会,16a-B6-6, 2017年3月(パシフィコ横浜、横浜市)

 

  1. 久國智彦、鈴木沙也加、本多信一、新部正人、寺澤倫孝、肥後祐司、庭瀬啓右、泉宏和、田口英次、岩田忠夫: 
  2. “静的高圧高温下における中性子照射高配向性熱分解黒鉛の構造変化”

第64回応用物理学会春季学術講演会,14p-P4-10, 2017年3月(パシフィコ横浜、横浜市)

 

  1. 針谷達、今井貴大、飯島佑史、須田善行、滝川浩史、~谷雅男、金子智、國次真輔、新部正人、神田一浩: 
  2. “水素フリーおよび水素化DLC膜の形成と膜質分析”

第64回応用物理学会春季学術講演会,15p-412-3, 2017年3月(パシフィコ横浜、横浜市)

 

  1. 荒木佑馬、新部正人、川上烈生、竹平徳崇、中野由崇

“TiO2 薄膜のプラズマ処理試料のXPS法による組成と触媒活性の相関”
第30回日本放射光学会シンポジウム,2B004, 2017年1月(神戸芸術センター)

 

  1. 新部正人、竹平徳崇、徳島高

“ニュースバル発光分光器における集光ミラーの導入”
第30回日本放射光学会シンポジウム,2B004, 2017年1月(神戸芸術センター)

 

  1. 田中良、新部正人、川上烈生、中野由崇、向井孝志

“酸素および窒素プラズマ処理したAlGaN膜の表面分析”
第30回日本放射光学会シンポジウム,2B004, 2017年1月(神戸芸術センター)

 

  1. 上村雅治、長谷川孝行,深田昇,梅咲則正,福島整,新部正人、神田一浩

“産業用ビームライン(BL05A )の現状と最近の測定例”
第30回日本放射光学会シンポジウム,2B004, 2017年1月(神戸芸術センター)

 

  1. 竹平徳崇、新部正人、徳島高

“各種グラファイトのC-K, B-K吸収および発光分析”
第30回日本放射光学会シンポジウム,2B004, 2017年1月(神戸芸術センター)

 

2016年

  1. 中野由崇、新部正人、川上烈生

“CF4プラズマ処理したn-GaN膜の電気的ダメージ”
2016年真空・表面科学合同講演会,2PA14, 2016年11月 (名古屋国際会議場)

 

  1. 新部正人、竹平徳崇、徳島高、岩田忠夫

“HOPGの軟X線発光スペクトルにおける大きな出射角依存性”
2016年真空・表面科学合同講演会,3Ha10, 2016年11月 (名古屋国際会議場)

 

  1. 竹平徳崇、新部正人、徳島高、岩田忠夫

“微量BドープしたグラファイトにおけるB-K線吸収・発光スペクトルの入・出射角依存性とバンド構造変化”
第52回X線分析討論会講演要旨集,P32S, 2016年10月(筑波大学東京キャンパス)

 

  1. 荒木佑馬、竹平徳崇、新部正人、川上烈生、中野由崇

“TiO2薄膜のプラズマ処理試料のXPS法による組成と触媒活性の相関”
第52回X線分析討論会講演要旨集,P33S, 2016年10月(筑波大学東京キャンパス)

 

  1. 新部正人、竹平徳崇、徳島高

“軟X線発光分光器におけるトライデントミラーの効果”
第52回X線分析討論会講演要旨集,P68, 2016年10月(筑波大学東京キャンパス)

 

  1. 新部正人, 竹平徳崇,徳島高

“軟X線発光分光器におけるトライデントミラーの効果”
第77回応用物理学会秋季学術講演会,13p-C31-5, 2016年9月(朱鷺メッセ、新潟市)

 

  1. 新部正人, 川上烈生,中野由崇、田中良、荒木佑馬、東知里、向井孝志

“AlGaN表面特性への酸素プラズマ照射効果”
第77回応用物理学会秋季学術講演会,15p-P7-1, 2016年9月(朱鷺メッセ、新潟市)

 

  1. 高松大樹, 新部正人, 神田一浩

“フッ素化DLC薄膜表面への軟X線照射による機能性変化”
第63回応用物理学会春季学術講演会,20p-H103-12, 2016年3月(東京工業大学大岡山キャンパス)

 

  1. 中野由崇, 坂井佑輔, 新部正人, 川上烈生

CF4プラズマ処理したn-GaN膜の電気的評価”
第63回応用物理学会春季学術講演会,20p-P9-10, 2016年3月(東京工業大学大岡山キャンパス)

 

  1. 出野文哉,山下拳太郎,関岡嗣久,本多信一,西田尚史, 徳井太央貴, 佐々木康二, 宮本貴裕, 櫻井誠,新部正人,寺澤倫孝,平瀬龍二,泉宏和,吉岡秀樹,庭瀬敬右,田口英次

“多価イオン照射孤立多層カーボンナノチューブの構造評価”
第63回応用物理学会春季学術講演会,20a-P4-5, 2016年3月 (東京工業大学大岡山キャンパス)

 

  1. 新部正人,徳島高:

“軽元素領域の軟X線発光分光器の開発II”
第29回日本放射光学会シンポジウム,10P018,2016年1月(東京大学柏の葉キャンパス)

 

  1. 荒木佑馬,新部正人,川上烈生,竹平徳崇,中野由崇:

“TiO2薄膜のプラズマ処理試料のXPS 法による組成と触媒活性の相関”
第29回日本放射光学会シンポジウム,10P065,2016年1月(東京大学柏の葉キャンパス)

 

  1. 平井翔大,新部正人,川上烈生,竹平徳崇,中野由崇,向井孝志:

“CF4とArプラズマ処理したAlGaN膜の表面分析”
第29回日本放射光学会シンポジウム,10P075,2016年1月(東京大学柏の葉キャンパス)

 

  1. 竹平徳崇,荒木佑馬,新部正人,徳島高:

“NewSUBARU発光分光器で観測されたHOPG発光の大きな出射角依存性”
第29回日本放射光学会シンポジウム,11P019,2016年1月(東京大学柏の葉キャンパス)

 

  1. 竹内雅耶,天野壮,橋本智,新部正人,宮本修治,神田一浩:

“共鳴遷移放射によるEUV光発生の検討”
第29回日本放射光学会シンポジウム,10P007,2016年1月(東京大学柏の葉キャンパス)

 

  1. 長谷川孝行,上村雅治,深田昇,梅咲則正,小高拓也,竹内和基,福島整,春山雄一,新部正人,神田一浩:
  2. “産業用分析ビームライン(BL05)の高度化と成果”

第29回日本放射光学会シンポジウム,10P116,2016年1月(東京大学柏の葉キャンパス)

 

2015年

  1. 新部正人,徳島高:

“ニュースバル放射光施設における小型高分解能軟X線発光分光器の開発”
第51回X線分析討論会,P03,2015年10月(姫路・西はりま地場産業センター)

 

  1. 竹平徳崇,荒木佑馬,新部正人,徳島高:

“HOPGにおけるC-K 発光スペクトルの大きな出射角依存性”
第51回X線分析討論会,P19s,2015年10月(姫路・西はりま地場産業センター)

 

  1. 荒木佑馬,新部正人,川上烈生,竹平徳崇,中野由崇:

“TiO2薄膜のプラズマ処理試料のXPS 法による組成と触媒活性の相関”
第51回X線分析討論会,P20s,2015年10月(姫路・西はりま地場産業センター)

 

  1. 高松大樹,新部正人,神田一浩:

“フッ素化DLC 薄膜表面への軟X 線照射効果”
第76回秋季応用物理学会学術講演会,14a-4F-6, 2015年9月(名古屋国際会議場)

 

  1. 新部正人,川上烈生,中野由崇,竹平徳崇,平井翔大,荒木佑馬,東知里,向井孝志:

“紫外光アシストCF4プラズマでエッチンングされたAlGaN表面分析”
第76回秋季応用物理学会学術講演会,15p-PB2-52, 2015年9月(名古屋国際会議場)

 

  1. 新部正人,荒木佑馬,竹平徳崇,川上烈生,中野由崇,東知里:

“酸化チタン薄膜表面への酸素プラズマ照射効果”
第76回秋季応用物理学会学術講演会,15p-PB2-53, 2015年9月(名古屋国際会議場)

 

  1. 新部正人,佐野桂治,川上烈生,中野由崇:

“TiO2超微粒子の軟X線照射によるNEXAFSスペクトル形状の回復”
第62回応用物理学会春季学術講演会,11a-D10-7,2015年3月(東海大学)

 

  1. 中野由崇,高木健司,小川大輔,中村圭二,新部正人,川上烈生:

“Ar+イオン照射したMOCVD-GaN:Si膜の電気的評価”
第62回応用物理学会春季学術講演会,13p-P17-14,2015年3月(東海大学)

 

  1. 中野由崇,川上烈生,新部正人,高木健司,白濱達夫,向井孝志:

“CF4プラズマ処理したAlGaN/GaNヘテロ構造の電気的評価”
第62回応用物理学会春季学術講演会,13p-P17-15,2015年3月(東海大学)

 

  1. 今井亮,新部正人,鈴木常生,神田一浩:

“軟X線照射によるSi含有DLC膜への耐性評価”
第28回日本放射光学会シンポジウム,12P093,2015年1月(立命館大学)

 

  1. 平井翔大,新部正人,川上烈生,白濱達夫,中野由崇,向井孝志:

“ArとCF4プラズマで処理したAlGaN膜の表面分析”
第28回日本放射光学会シンポジウム,12P092,2015年1月(立命館大学)

 

  1. 佐野桂治,新部正人,川上烈生,中野由崇:

“X線吸収分光法を用いたTiO2薄膜のプラズマダメージ評価”
第28回日本放射光学会シンポジウム,12P091,2015年1月(立命館大学)

 

  1. 長谷川孝行,上村雅治,深田昇,梅咲則正,小高拓也,竹内和基,福島整,春山雄一,新部正人,神田一浩:

“産業用ビームライン(BL05)の高度化について”
第28回日本放射光学会シンポジウム,12P064,2015年1月(立命館大学)

 

  1. 新部正人,徳島高:

“軽元素領域の軟X線発光分光器の開発”
第28回日本放射光学会シンポジウム,11P083,2015年1月(立命館大学)

 

  1. 貴傳名健吾,新部正人,横田久美子,田川雅人,古山雄一,小松啓志,斎藤秀俊,神田一浩:

“Si含有水素化DLC膜への原子状酸素照射の影響”
第28回日本放射光学会シンポジウム,11P052,2015年1月(立命館大学)

 

2014年

  1. 新部正人,徳島高:

“軽元素領域の軟X線発光分光器の開発”
第55回真空に関する合同講演会,18P-18, 2014年11月(大阪府立大学)

 

  1. 平井翔大,新部正人,白濱達夫,川上烈生,中野由崇,向井孝志:

“ArとCF4プラズマで処理したAlGaN膜の表面分析“
兵庫県立大学知の交流シンポジウム,P29, 2014年9月24日(姫路商工会議所)

 

  1. 貴傳名健吾,新部正人,横田久美子,田川雅人,古山雄一,小松啓記,斎藤秀俊,神田一浩:

“Si含有DLC 膜の原子状酸素照射効果”
第75回秋季応用物理学会学術講演会,18p-A10-5, 2014年9月(北海道大学)

 

  1. 新部正人,川上烈生,中野由崇,向井孝志,白濱達夫,平井翔大:

“CF4とArプラズマでエッチングしたAlGaN表面ダメージ”
第75回秋季応用物理学会学術講演会,18p-A10-5, 2014年9月(北海道大学)

 

  1. 中野由崇,中村圭二,新部正人,川上烈生:

“Ar+イオン照射したHVPE-GaN膜の電気的評価”
第75回秋季応用物理学会学術講演会,18p-A10-5, 2014年9月(北海道大学)

 

  1. 川上 烈生,新部 正人,中野 由崇,白濱 達夫,向井 孝志

対向ターゲットを用いたDCプラズマスパッタリングによる酸化チタン薄膜の生成
平成26年度電気関係学会 四国支部連合大会, pp.40, 2014年9月.

 

  1. 白濱 達夫,川上 烈生,新部 正人,中野 由崇,平井 翔大,向井 孝志

CF4プラズマとAlGaN表面との相互作用
平成26年度電気関係学会 四国支部連合大会, pp.41, 2014年9月.

 

  1. 新部正人,米村卓巳,飯原順次,山口浩司:

“TEY, TFYの併用によるSn表面酸化状態の深さ分析法の検討”
第11回Spring-8産業利用報告会,H-18, 2014年9月5日,(姫路商工会議所)

 

  1. R.Tamura, A.Tsukagoshi, S.Honda, M.Niibe, M.Terasawa, R.Hirase, H.Yoshioka, H.Izumi, K.Niwase, E.Taguchi, K.-Y.Lee, and M.Oura: 
  2. “Surface Modification on Horizontally Aligned Multi-walled Carbon Nanotube Films by Ar Ion Irradiation”

第47回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム, 名古屋大学, 2014年9月4日

 

  1. 佐野桂治,新部正人,川上烈生,中野由崇:

“X線吸収分光法によるTiO2薄膜のエッチングダメージ評価”
第61回春季応用物理学会学術講演会,18a-E8-4, 2014年3月(青山学院大学)

 

  1. 新部正人,平井翔大,川上烈生,白濱達夫,中野由崇,向井孝志:

UVアシストHeプラズマによりエッチングしたn-GaN結晶の表面ダメージの分析
第61回春季応用物理学会学術講演会,18p-PA7-1, 2014年3月(青山学院大学)

 

  1. 貴傳名健吾,遠藤みなみ,今井亮,新部正人,横田久美子,田川雅人,古山雄一,小松啓記,斎藤秀俊,神田一浩:
  2. “Ti含有DLC 膜の原子状酸素照射への耐性”

第61回春季応用物理学会学術講演会,17a-F3-4, 2014年3月(青山学院大学)

 

  1. 今井亮,新部正人,神田一浩,鈴木常生:

“軟X線照射によるSi含有DLC膜における構造変化の解明”
先端技術セミナー2014,イーグレひめじ,2014年3月11日

 

  1. 貴傳名健吾,新部正人,神田一浩,横田久美子,田川雅人,小松啓志,斎藤秀俊:

“原子状酸素照射によるTi含有DLC膜の表面状態変化”
先端技術セミナー2014,イーグレひめじ,2014年3月11日

 

  1. 佐野桂治,新部正人,川上烈生,中野由崇:

“軟X線照射によるTiO2 薄膜のXASスペクトル形状の回復”,
先端技術セミナー2014,イーグレひめじ,2014年3月11日

 

  1. 新部正人,平井翔大,川上烈生,白濱達夫,中野由崇,向井孝志:

“UVアシストHeプラズマによりエッチングしたn-GaN結晶の表面ダメージの分析”
先端技術セミナー2014,イーグレひめじ,2014年3月11日

 

  1. 平井翔大、新部正人

“イオンビームエッチングした窒化ガリウム結晶の評価”
先端技術セミナー2014,イーグレひめじ,2014年3月11日

 

  1. 田村僚介,本多 信一,新部 正人,寺澤 倫孝,平瀬 龍二,泉 宏和,吉岡 秀樹,庭瀬 敬右,田口 英次,和賀井 達也,大浦 正樹:

“室温合成アモルファスカーボンナノロッドの軟X線分光分析”
 先端技術セミナー2013,イーグレひめじ,2014年3月11日

 

  1. 米村卓巳,飯原順次,山口幸司

“TEY, TFYの併用によるSn表面酸化状態の深さ分析手法の検討”
先端技術セミナー2013,イーグレひめじ,2014年3月11日

 

  1. 佐野桂治,新部正人,川上烈生,中野由崇:

“エッチングダメージの回復したTiO2 薄膜のNEXAFS評価”
第27回日本放射光学会シンポジウム,11P027,2014年1月(広島国際会議場)

 

  1. 新部正人,小高卓也,神宮司敏,井上尚三:

“軟X線吸収法を用いた超硬基板上のBN薄膜の評価”
第27回日本放射光学会シンポジウム,11P037,2014年1月(広島国際会議場)

 

  1. 新部正人,小高卓也,平井翔大,川上烈生,中野由崇,向井孝志:

“N-K吸収分光法を用いたn-GaN結晶のプラズマエッチングダメージの解析”
第27回日本放射光学会シンポジウム,11P038,2014年1月(広島国際会議場)

 

  1. 今井亮,新部正人,鈴木常生,田川雅人,小松啓記,斎藤秀俊,神田一浩:

”Si含有DLC 膜に対する軟X線照射の影響“
第27回日本放射光学会シンポジウム,11P046,2014年1月(広島国際会議場)

 

  1. 貴傳名健吾,遠藤みなみ,新部正人,横田久美子,田川雅人,古山雄一,小松啓記,斎藤秀俊,神田一浩:
  2. “Ti含有DLC 膜への原子状酸素照射の影響”

第27回日本放射光学会シンポジウム,13P084,2014年1月(広島国際会議場)

 

  1. 新部正人,佐野桂治,川上烈生,中野由崇:

“プラズマエッチングしたTiO2薄膜の乱れた軟X線吸収スペクトルの回復”
第54回真空に関する合同講演会,28Ga09, 2013年11月(つくば国際会議場)

 

<2013年>

  1. 新部正人,佐野桂治,川上烈生,中野由崇:

“プラズマエッチングしたTiO2薄膜の乱れた軟X線吸収スペクトルの回復”
第54回真空に関する合同講演会,28Ga09, 2013年11月(つくば国際会議場)

 

  1. 新部正人:

“軟X線吸収分光法を用いたBN薄膜の成長過程の観測”, 

NewSUBARU/立命館SRセンター合同シンポジウム,B2, 2013年11月1日,(京都リサーチパーク)

 

  1. 遠藤みなみ,貴傳名健吾,今井亮,新部正人,横田久美子,田川雅人,古山雄一,神田一浩:

“Si 含有DLC 膜の原子状酸素照射効果”,

NewSUBARU/立命館SRセンター合同シンポジウム 2013年11月1日,(京都リサーチパーク)

 

  1. 今井亮,新部正人,鈴木常生,小松啓記,斎藤秀俊,神田一浩:

“宇宙環境下におけるDLC 膜の適用性”,

NewSUBARU/立命館SRセンター合同シンポジウム, 2013年11月1日,(京都リサーチパーク)

 

  1. 貴傳名健吾,遠藤みなみ,今井亮,新部正人,横田久美子,田川雅人,古山雄一,小松啓記,斎藤秀俊,神田一浩:
  2. “Ti含有DLC 膜の原子状酸素照射への特性評価”,
  3. NewSUBARU/立命館SRセンター合同シンポジウム, 2013年11月1日,(京都リサーチパーク)

 

  1. 佐野桂治,新部正人,川上烈生,中野由崇:

“プラズマエッチングしたTiO2 薄膜のTi-L吸収スペクトルに見られる光照射によるダメージの回復”,

NewSUBARU/立命館SRセンター合同シンポジウム, 2013年11月1日,(京都リサーチパーク)

 

  1. 長谷川孝行、上村雅治、深田昇、梅咲則正,竹内和基,福島整,春山雄一、新部正人、神田一浩:

“産業用分析ビームライン(BL05)の高度化について”,

NewSUBARU/立命館SRセンター合同シンポジウム, 2013年11月1日,(京都リサーチパーク)

 

  1. 田村 僚介,本多 信一,新部 正人,寺澤 倫孝,平瀬 龍二,泉 宏和,吉岡 秀樹,庭瀬 敬右,田口 英次,和賀井 達也,大浦 正樹: 
  2. 「イオン照射によるアモルファスカーボンナノロッドの室温合成〜多層カーボンナノチューブからつくる新規ナノカーボン材料〜」

第6回兵庫県立大学シンポジウム,神戸市産業振興センター,2013年9月24日

 

  1. 新部正人:

“NEXAFS法を用いたBN薄膜の成長過程の観測”
第10回Spring-8産業利用報告会,HO-5, 2013年9月6日,(兵庫県民会館)

 

  1. 新部正人,佐野桂治,川上烈生,富永喜久雄,中野由崇:

“SXおよびUV照射によるTiO2薄膜のエッチングダメージの回復”
第74回秋季応用物理学会学術講演会,17a-A13-6, 2013年9月(同志社大学)

 

  1. 遠藤みなみ,貴傳名健吾,今井亮,新部正人,横田久美子,田川雅人,古山雄一,神田一浩:

“原子状酸素照射によるSi 含有DLC 膜への影響”
第74回秋季応用物理学会学術講演会,17a-A13-9, 2013年9月(同志社大学)
  

  1. 貴傳名健吾,遠藤みなみ,今井亮,新部正人,横田久美子,田川雅人,古山雄一,神田一浩:

“原子状酸素照射によるSi 含有DLC 膜への影響”
第74回秋季応用物理学会学術講演会,17a-A13-10, 2013年9月(同志社大学)
  

  1. 佐野桂治,新部正人,川上烈生,富永喜久雄,中野由崇:

“XASスペクトルに見られるTiO2薄膜のエッチングダメージ回復現象の条件評価”
第74回秋季応用物理学会学術講演会,17a-D3-5, 2013年9月(同志社大学)

 

  1. 今井亮,新部正人,神田一浩:

“軟X線照射による水素化DLC 膜のグラファイト化”
第74回秋季応用物理学会学術講演会,17p-D1-11, 2013年9月(同志社大学)

 

  1. 川上烈生,新部正人,中野由崇,向井孝志,白濱達夫,山田哲也,青木一馬,仲祐弥,高畑麻里,大場健太: 
  2. “紫外線アシストHeプラズマにとるn-GaN表面エッチングダメージ”

第74回秋季応用物理学会学術講演会,17p-P2-29, 2013年9月(同志社大学)

 

白濱 達夫,川上 烈生,新部 正人,竹内 日出雄, 佐野 桂治,:

”HeプラズマによるSiCエッチングダメージ”

平成25年度電気関係学会 四国支部連合大会, pp.38, 2013年9月.

 

川上 烈生,新部 正人,中野 由崇,向井 孝志,白濱 達夫,山田 哲也,青木 一馬,仲 祐弥, 高畑 麻里,大場 健太:

”N2プラズマによるGaNエッチングダメージ”

平成25年度電気関係学会 四国支部連合大会, pp.39, 2013年9月.

 

山田 哲也,川上 烈生,新部 正人,中野 由崇,佐野 桂治,

”二酸化チタン配合フッ素樹脂のDBD酸素プラズマ表面処理に関する研究”

平成25年度電気関係学会 四国支部連合大会, pp.40, 2013年9月.

 

川上 烈生,新部 正人,中野 由崇,松永 史彦,山田 哲也,仲 祐弥,白濱 達夫,青木 一馬,高畑 麻里,大場 健太:

”窒素とヘリウムDBDプラズマ処理された酸化チタン薄膜の表面状態”

日本物理学会 2013年秋季大会, 第68巻, 第2号, 第4分冊, p. 820, 2013年9月.

 

  1. 新部正人,小高拓也,神宮司敏,井上尚三:

“超硬基板上に堆積したBN薄膜の軟X線吸収法による評価”
第60回春季応用物理学会学術講演会,28p-A6-7, 2013年3月(神奈川工科大学).

 

  1. 今井亮,新部正人,神田一浩:

“軟X線照射による水素化DLC膜の改質過程”
第60回春季応用物理学会学術講演会,28a-A6-1, 2013年3月(神奈川工科大学).

 

  1. 佐野桂治,新部正人,小高拓也,川上烈生,富永喜久雄,中野由崇:

“軟X線照射によるTiO2薄膜のエッチングダメージの回復I”
第60回春季応用物理学会学術講演会,29a-F2-8, 2013年3月(神奈川工科大学).

 

  1. 新部正人,佐野桂治,小高拓也,川上烈生,富永喜久雄,中野由崇:

“軟X線照射によるTiO2薄膜のエッチングダメージの回復II”
第60回春季応用物理学会学術講演会,29a-F2-9, 2013年3月(神奈川工科大学).

 

  1. 新部正人,川上烈生,中野由崇,小西将士,森祐太,小高拓也,白濱達夫,山田哲也,富永喜久雄,向井孝志:

“n-GaN表面のN2プラズマエッチングダメージ”
第60回春季応用物理学会学術講演会,29a-F2-9, 2013年3月(神奈川工科大学).

 

  1. 中野由崇,新部正人,Mickael Lozach, Liwen Sang, 角谷正友:

“InGaN厚膜を有するpin接合の電気的評価”
第60回春季応用物理学会学術講演会,28p-PA1-9, 2013年3月(神奈川工科大学).

 

  1. 庭瀬 敬右,本多 信一,納庄 裕介,塚越 旭,新部 正人,寺澤 倫孝,平瀬 龍二,吉岡 秀樹,泉 宏和,田口 英次,和賀井 達也,大浦 正樹:

“Arイオン照射された多層カーボンナノチューブの構造変化”
日本金属学会 2013年春期大会,東京理科大学,2013年3月28日

 

  1. 新部正人,小高拓也,神宮司敏,井上尚三:

“NEXAFS法を用いたBN薄膜の成長過程の観察”
先端技術セミナー2013,イーグレひめじ,2013年3月15日

 

  1. 小高拓也,新部正人:

“表面と内部で構造の異なる薄膜の軟X線吸収分光測定”
先端技術セミナー2013,イーグレひめじ,2013年3月15日

 

  1. 佐野桂治,新部正人,小高拓也,川上烈生,富永喜久雄,中野由崇:

“光照射によるTiO2薄膜のエッチングダメージの回復”
先端技術セミナー2013,イーグレひめじ,2013年3月15日

 

  1. 今井亮,新部正人,鈴木常生,斉藤秀俊,神田一浩:

“軟X線照射による水素化DLC膜における変化の解明”
先端技術セミナー2013,イーグレひめじ,2013年3月15日

 

  1. 武田 昴之,塚越 旭,本多 信一,新部 正人,寺澤 倫孝,平瀬 龍二,吉岡 秀樹,泉 宏和,庭瀬 敬右,田口 英次,和賀井 達也,大浦 正樹:

“軟X線吸収分光法によるイオン照射多層グラフェンの構造・電子状態評価”
 先端技術セミナー2013,イーグレひめじ,2013年3月15日

 

  1. 新部正人,小高拓也,川上烈生,竹内日出雄:

“プラズマエッチングしたp-SiC結晶のダメージ解析”
第26回日本放射光学会年会 予稿集, p.119, 14P035 (2013.1.14, 名古屋大学)

 

  1. 新部正人,小高拓也,神宮司敏,井上尚三:

“NEXAFSを用いたc-BN薄膜の成長初期過程の観測”
第26回日本放射光学会年会 予稿集, p.120, 14P036 (2013.1.14, 名古屋大学)

 

  1. 新部正人,佐野桂治,小高拓也,川上烈生,富永喜久雄,中野由崇:

“軟X線照射によるTiO2薄膜の乱れた構造の回復”
第26回日本放射光学会年会 予稿集, p.120, 14P037 (2013.1.14, 名古屋大学)

 

<2012年>

  1. 新部正人,佐野桂治,小高拓也,川上烈生,富永喜久雄,中野由崇:

“エッチングしたTiO2薄膜の軟X線照射による乱れた構造の回復”
第48回X線分析討論会 予稿集, p.66, (2012.10.31, 名古屋大学,野依記念館)

 

  1. 小高拓也,新部正人,川上烈生,中野由崇,向井孝志: 

“N2プラズマによるGaNエッチングダメージの分析”
第48回X線分析討論会 予稿集, p.224, (2012.10.31, 名古屋大学,野依記念館)

 

  1. 小西 将士,川上 烈生,新部 正人,中野 由崇,森 祐太,小高 拓也,白濱 達夫,山田 哲也,富永 喜久雄,向井 考志,
  2. “p-GaNとn-GaNにおけるArプラズマエッチングダメージ”,

平成24年度電気関係学会 四国支部連合大会, pp.49, 2012年9月.

 

  1. 川上 烈生,新部 正人,竹内 日出雄,森 祐太,小西 将士,小高 拓也,白濱 達夫,山田 哲也,富永 喜久雄,
  2. “ArプラズマによるSiCエッチングダメージ”,

平成24年度電気関係学会 四国支部連合大会, pp.50, 2012年9月.

 

  1. 森 祐太,川上 烈生,新部 正人,中野 由崇,小西 将士,小高 拓也,白濱 達夫,山田 哲也,富永 喜久雄,
  2. “二酸化チタン配合フッ素樹脂へのDBDエアプラズマトリートメント”,

平成24年度電気関係学会 四国支部連合大会, pp.52, 2012年9月.

 

  1. 川上烈生,新部正人,中野由崇,向井孝志:

“N2プラズマによるGaNエッチングダメージの分析”
第73回秋季応用物理学会学術講演会,12a-E1-11, 2012年9月(愛媛大学・松山).

 

  1. 新部正人,小高拓也,川上烈生,小西将士,森祐太,富永喜久雄,中野由崇:

“軟X線吸収分光法によるTiO2薄膜のエッチングダメージの解析”
第73回秋季応用物理学会学術講演会,12a-E1-14, 2012年9月(愛媛大学・松山).

 

  1. 今井亮,福田和弘,新部正人,岡田真,松井真二,神田一浩:

“軟X線照射によるDLC膜の物性変化”
第73回秋季応用物理学会学術講演会,14a-C12-7, 2012年9月(愛媛大学・松山).

 

  1. 福田和弘,今井亮,新部正人,藤本普嗣,横田久美子,田川雅人,神田一浩:

“機能性DLC膜の原子状酸素照射効果”
第73回秋季応用物理学会学術講演会,14a-C12-8, 2012年9月(愛媛大学・松山).

 

  1. 鬼束さおり,甲把理恵,岡田亘太焉C鈴木常生、斉藤俊秀,新部正人,神田一浩,伊藤治彦:

“ArのECR放電による有機シランの分解反応−水素化アモルファス炭化ケイ素薄膜の形成”
第73回秋季応用物理学会学術講演会,13a-PB2-13, 2012年9月(愛媛大学・松山).

 

  1. 中野由崇,新部正人,Mickael Lozach, Liwen Sang, 角谷正友:

“InGaN厚膜の欠陥準位評価”
第73回秋季応用物理学会学術講演会,12a-BP4-19, 2012年9月(愛媛大学・松山).

 

  1. 本多信一,納庄裕介,塚越旭,岡田拓,新部正人,寺澤倫孝,庭瀬啓右,田口英次,平瀬龍二,吉岡秀樹,泉宏和,和賀井達也,大浦正樹: 

“多価イオン照射垂直配向多層カーボンナノチューブの分光学的評価”
第73回秋季応用物理学会学術講演会,11p-C2-30, 2012年9月(愛媛大学・松山).

 

  1. 塚越旭,大杉僚,岡田拓,本多信一,新部正人,寺澤倫孝,庭瀬啓右,田口英次,平瀬龍二,吉岡秀樹,泉宏和,和賀井達也,大浦正樹: 
  2. “イオン照射多層グラフェンの分光学的評価”

第73回秋季応用物理学会学術講演会,12p-C2-16, 2012年9月(愛媛大学・松山).

 

  1. 小高拓也,新部正人:
    “N−K吸収スペクトルにおける全電子収量法および全蛍光収量法での分析深さの評価”
    先端技術セミナー2012,イーグレひめじ,2012年4月27日.

 

  1. 新部正人,小高拓也,堀聡子,井上尚三:
    “軟X線吸収法によるスパッタc-BN薄膜の成長過程の観測”
    先端技術セミナー2012,イーグレひめじ,2012年4月27日.

 

本多信一,納庄裕介,塚越旭,寺澤倫孝,新部正人,平瀬龍二,吉岡秀樹,泉宏和,田口英次,和賀井達也,大浦正樹:
"軟X線分光によるイオン照射垂直配向高密度多層カーボンナノチューブの構造・電子状態評価"
先端技術セミナー2012,イーグレひめじ,2012年4月27日(ポスター発表)

 

  1. 藤本昌宏、新部正人、神田一浩、横田久美子、田川雅人:

“酸素雰囲気におけるDLC膜の軟X線照射効果”
第59回春季応用物理学会学術講演会,17a-GP5-4, 2012年3月(早稲田大学).

 

  1. 中野 由崇,中村圭二、新部 正人,川上 烈生,伊藤慎祥,小高拓也、稲岡 武,富永 喜久雄,

“GaNのArプラズマエッチングへのUV光照射効果”
第59回春季応用物理学会学術講演会,17p-GP18-4, 2012年3月(早稲田大学).

 

  1. 新部正人、小高拓也、堀聡子、井上尚三:

“軟X線吸収法によるスパッタc−BN薄膜の成長過程の観測”
第59回春季応用物理学会学術講演会,17p-F3-16, 2012年3月(早稲田大学).

 

  1. 新部正人、小高拓也、堀聡子、井上尚三:

“スパッタ法で作製したc-BN様薄膜のNEXAFS評価”
第25回日本放射光学会年会 予稿集, p.87, 8P063 (2012.1.8, 鳥栖市民会館).

 

  1. 小高拓也、新部正人、三田村徹:

“N-K吸収スペクトルにおけるTEY法およびTFY法での分析深さの評価”
第25回日本放射光学会年会 予稿集, p.121, 9P029 (2012.1.8, 鳥栖市民会館).

 

  1. 納庄 裕介,塚越 旭,本多 信一,寺澤 倫孝,新部 正人,平瀬 龍二,吉岡 秀樹,泉 宏和,田口 英次,和賀井 達也,大浦正樹:
  2. “イオン照射多層カーボンナノチューブの軟X線分光”
    第25回日本放射光学会年会 予稿集, p.64, 4B006 (2012.1.8, 鳥栖市民会館).

    <2011年>

    1. 新部正人、小高拓也、堀聡子、井上尚三:

      “NEXAFS法を用いたスパッタリングc-BN薄膜の評価”
    第47回X線分析討論会 講演予稿集,p.138−139 (2011).

     

    1. 小高拓也、新部正人、三田村徹:

      “TEY法およびTFY法でのN-K吸収スペクトルにおける分析深さの検証”
    第47回X線分析討論会 講演予稿集,p.136−137 (2001).

     

    1. 川上 烈生,武市 敦,新部 正人,森 祐太,小西 将士,小高 拓也,稲岡 武,富永 喜久雄

    “TiO2薄膜のHeプラズマエッチングダメージ,”
    平成23年度電気関係学会 四国支部連合大会, pp.38, 2011年9月.

     

    1. 武市 敦,川上 烈生,新部 正人,中野 由崇,小西 将士,森 祐太,小高 拓也,稲岡 武,富永 喜久雄,向井 孝志: 
    2. “Ar/Krプラズマイオンと紫外線のシナジー効果によるn-GaNエッチングダメージ,”

    平成23年度電気関係学会 四国支部連合大会, pp.39, 2011年9月.

     

    1. 森 祐太,川上 烈生,新部 正人,武市 敦,小西 将士,小高 拓也,松永 史彦,高崎 敏英,北野 尊宣,宮崎 隆弘,稲岡 武,富永 喜久雄: 
    2. “DBD He/Air プラズマトリートメントによるTiO2薄膜表面の分析,”

    平成23年度電気関係学会 四国支部連合大会, pp.40, 2011年9月.

     

    1. 小西 将士,川上 烈生,新部 正人,武市 敦,森 祐太,小高 拓也,中野 由崇,稲岡 武,富永 喜久雄,向井 孝志: 
    2. “窒素プロセシングプラズマによるn-GaNエッチングダメージ,”

    平成23年度電気関係学会 四国支部連合大会, pp.41, 2011年9月.

     

    1. 塚越 旭,納庄 裕介,本多 信一,寺澤 倫孝,新部 正人,平瀬 龍二,吉岡 秀樹,
      泉 宏和,和賀井 達也,大浦 正樹: “イオン照射によるカーボンナノチューブの改質”
      兵庫県立大学シンポジウム,神戸市産業振興センター,2011年9月13日

     

    1. 納庄裕介、本多信一、大浦正樹、和賀井達也、寺澤倫孝、新部正人、平瀬龍二、吉岡秀樹、泉宏和:

      “イオン照射多層カーボンナノチューブの分光学的評価”
    第72回秋季応用物理学会学術講演会,2a-E-5, 2011年8月. 山形大学

     

    1. 中野由崇、川上烈生、新部正人、武市敦、稲岡武、富永喜久雄:

      “プラズマエッチングGaNのフォトルミネッセンス評価”
    第72回秋季応用物理学会学術講演会,31a-M-14, 2011年8月. 山形大学

     

    1. 新部正人、小高拓也、川上烈生、中野由崇、稲岡武、富永喜久雄、向井孝志:

      “HeおよびArガスを用いてプラズマエッチングしたn-GaN結晶の表面ダメージ分析”
    第72回秋季応用物理学会学術講演会,31a-M-13, 2011年8月. 山形大学

     

    1. 川上烈生、新部正人、中野由崇、武市敦、小西将士、森祐太、小高拓也、稲岡武、富永喜久雄、向井孝志: 
    2. “容量結合型N2プラズマによるGaNエッチングダメージ”

      第72回秋季応用物理学会学術講演会,31a-M-12, 2011年8月. 山形大学

     

    1. 藤本昌宏、岡田真、羹有志、新部正人、松井真二、鈴木常生、神田一浩:

      “W含有FIB-DLC膜に対するアニールの影響”
    第72回秋季応用物理学会学術講演会,30p-K-3, 2011年8月. 山形大学

     

    1. 神田一浩、藤本昌宏,新部正人、松井真二、横田久美子、田川雅人:

      “水素化DLC膜に対する軟X線照射効果”
    第72回秋季応用物理学会学術講演会,31a-P4-4, 2011年8月. 山形大学

     

    1. 新部正人、小高拓也、堀聡子、井上尚三:

      “軟X線吸収分光法によるBN薄膜の結晶構造の評価”
    第72回秋季応用物理学会学術講演会,30a-D-12, 2011年8月. 山形大学

     

    1. 中野 由崇,川上 烈生,新部 正人,武市 敦,稲岡 武,富永 喜久雄,

    “GaNのプラズマエッチング損傷のフォトルミネッセンス評価,”
    第58回春季応用物理学会学術講演会,2011年3月(神奈川工科大学).

     

    1. 神田一浩,姜 有志,新部正人,横田久美子,田川雅人,松井真二

    “水素化DLC膜の軟X線照射により起きる水素放出反応の解明”
    第58回春季応用物理学会学術講演会,27p-BC-1, 2011年3月(神奈川工科大学).

     

    1. 小高拓也,新部正人:

     “フォトダイオードを用いたTFY法による軟X線吸収分光の開発”
    先端技術セミナー2011,p.63, イーグレ姫路、 2011. 3. 3.

     

    1. 坂元誠,圓谷文明,新部正人:

     “2m望遠鏡・主鏡コーティング装置の開発”
    先端技術セミナー2011,p.64, イーグレ姫路、 2011. 3. 3.

     

    1. 新部正人,小高拓也,川上烈生,稲岡武,富永喜久雄,向井孝志:

     “希ガスプラズマでエッチングしたn−GaN結晶のNEXAFS測定によるダメージ解析”
    先端技術セミナー2011,p.65, イーグレ姫路、 2011. 3. 3.

     

    1. 難波修平,長谷川陽一,本多信一,新部正人,寺澤倫孝:

     “軟X線吸収分光によるイオン照射垂直配向高密度多層カーボンナノチューブの構造評価”
    先端技術セミナー2011,p.66, イーグレ姫路、 2011. 3. 3.

     

    1. 新部正人,古井田啓吾:

     “シングルバンチSRを用いたEUVL用ミラーのコンタミネーション生成実験”
    先端技術セミナー2011,p.67, イーグレ姫路、 2011. 3. 3.

     

    1. 神田一浩,姜有志,新部正人,松井真二,横田久美子,田川雅人:

     “DLC膜に対する軟X線照射効果”
    先端技術セミナー2011,p.60, イーグレ姫路、 2011. 3. 3.

     

    1. 新部正人,小高拓也,川上烈生,稲岡武,富永喜久雄,向井孝志:

    “プラズマエッチングしたGaN結晶のN-K吸収測定によるダメージ解析II”
    第24回日本放射光学会年会 予稿集, p.90, 9P060 (2011.1.9, つくば国際会議場).

     

    1. 寺澤倫孝,三田村徹,新部正人,山崎徹,栗下裕明,川合将義:

    “微細粒SUS316L鋼における微量添加TiCの状態分析”
    第24回日本放射光学会年会 予稿集, p.106, 9P125 (2011.1.9, つくば国際会議場).

     

    <2010年>

    1. 川上 烈生,新部 正人,武市 敦,稲岡 武,富永 喜久雄,向井 孝志,

    “GaNの容量結合型RFヘリウムプラズマエッチダメージ“,
    第71回秋季応用物理学会学術講演会,No.1, pp.08-132, 2010年9月. 長崎大学

     

    1. 新部 正人,前田 佳恵,川上 烈生,稲岡 武,富永 喜久雄,向井 孝志,

    “Ar, KrおよびXeガスを用いてRFプラズマエッチングしたn-GaN 結晶の表面分析,”
    第71回秋季応用物理学会学術講演会,No.1, pp.08-133, 2010年9月.

     

    1. 川上 烈生,新部 正人,武市 敦,稲岡 武,小西 将士,森 祐太,兒玉 宗久,富永 喜久雄,

    “TiO2光触媒へのDBDエアプラズマトリートメント効果,”
    平成22年度電気関係学会 四国支部連合大会, pp.20, 2010年9月.

     

    1. 武市 敦,川上 烈生,新部 正人,稲岡 武,向井 考志,小西 将士,森 祐太,兒玉 宗久,富永 喜久雄, 
    2. “ヘリウムとアルゴンプラズマによる窒化ガリウムエッチングダメージ,”

    平成22年度電気関係学会 四国支部連合大会, pp.21, 2010年9月.

     

    1. 西原克浩,山本浩司,永田辰夫,内田仁,新部正人,春山雄一,神田一浩,松井真二:

    “リチウムイオン電池負極用炭素粉末のC−K端X線吸収分析
    2010年 黒鉛討論会 (2010.5.20) 京都大学.

     

    新部正人、古井田啓吾、中山 貴博、寺島 茂、三宅明、久保博義、角谷 幸信、松成秀一、青木貴史、河田真太郎:

    "炭化水素と水分が共存する環境におけるEUV照射による炭素膜堆積の非線形性"
    平成22年春季 第57回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.17a-W-7 (2010).

     

    1. 和田晃,大柿猛,新部正人,田川雅人,斉藤秀俊,神田一浩,伊藤治彦: 
    2. “Arのマイクロ波放電フロー中でのテトラメチルシランの分解を用いた硬質a−SiCx膜の形成(2)局所構造解析”

    平成22年春季 第57回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.19p-TV-7 (2010).

     

    1. 和田晃,安川智之,水谷文雄,新部正人,鈴木常生,斉藤秀俊,伊藤治彦,神田一浩:

     “DLC膜に対する酸素プラズマエッチングの効果”
    平成22年春季 第57回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.19p-TV-8 (2010).

     

    1. 和田晃,新部正人,鈴木常生,斉藤秀俊,伊藤治彦,神田一浩:

     “Ga FIB−CVD法によるW含有DLCの作製とアニーリングによる影響”
    平成22年春季 第57回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.19p-W-3 (2010).

     

    1. 西原克浩,山本浩司,永田辰夫,松本雅充,正木康浩,内田仁,新部正人,三田村徹,春山雄一,神田一浩,松井真二:
    2. “リチウムイオン電池負極用炭素粉末のC−K端X線吸収分析”

    先端技術セミナー2010,イーグレ姫路、 2010. 3. 11.

     

    1. 新部正人, 前田佳恵,川上烈生,稲岡武,富永喜久雄,向井孝志:

     “プラズマエッチングしたGaN結晶のNEXAFS測定によるダメージ解析”
    先端技術セミナー2010,イーグレ姫路、 2010. 3. 11.

     

    1. 前田佳恵,新部正人:

     “スパッタリング法で作製する窒化ホウ素薄膜中の酸素混入の抑制”
    先端技術セミナー2010,イーグレ姫路、 2010. 3. 11.

     

    1. 新部正人,萱原雅典,井上尚三:

     “斜入射スパッタ法で作製したチタニア(TiO2)薄膜の電子構造と光触媒活性”
    先端技術セミナー2010,イーグレ姫路、 2010. 3. 11.

     

    1.  寺澤倫孝,三田村徹,新部正人,山崎徹,栗下裕明,河合将義:

     “超微細粒SUS316L鋼における微量添加TiCの状態分析”
    先端技術セミナー2010,イーグレ姫路、 2010. 3. 11.

     

    1.  三田村徹,新部正人,村松康司,谷口一雄:

     “軟X線発光分光分析装置の開発II”
    先端技術セミナー2010,イーグレ姫路、 2010. 3. 11.

     

    1.  新部正人,古井田啓吾,中山貴博,寺島茂,三宅明,久保博義,角谷幸信,松成秀一,青木貴史,河田真太郎:
    2. “オゾン導入によるEUV照射中の炭素膜堆積の抑制”

    先端技術セミナー2010,イーグレ姫路、 2010. 3. 11.

     

    1.  中山貴博,久保博義,三宅明,寺島茂,河田真太郎,青木貴史,松成秀一,木下博雄,渡邊健夫,新部正人:
    2. “EUV光学系における今田美奈−ション”

    先端技術セミナー2010,イーグレ姫路、 2010. 3. 11.

     

    寺澤倫孝, 山崎 徹,新部正人,三田村徹,栗下裕明,川合将義:
    "高エネルギー量子場の材料損傷機構研究と高性能材料の開発(5)超微細粒ステンレス鋼316Lの照射特性評価" 

    日本原子力学会 (2010, 3.26-29)

     

    新部正人、古井田啓吾、角谷 幸信、松成 秀一、青木 貴史、河田真太郎、寺島 茂、中山 貴博、三宅明、久保博義:

    "酸素およびオゾン雰囲気下でのEUV照射による炭素膜堆積の抑制と除去"
    第23回日本放射光学会年会 予稿集, p.74, 4C005 (2010.1.8).

     

    新部正人、前田佳恵、川上烈生、稲岡武、富永喜久雄、向井孝志:
    "プラズマエッチングしたGaN結晶のN-K吸収測定によるダメージ解析"
    第23回日本放射光学会年会 予稿集, p.74, 9P056 (2010.1.9).

     

    寺澤倫孝、三田村徹、新部正人,山崎 徹,栗下裕明,川合将義:
    "超微細粒金属材料における微量添加TiCの状態分析"
    第23回日本放射光学会年会 予稿集, p.74, 9P057 (2010.1.9).

     

    <2009年>

    寺澤倫孝、三田村徹、新部正人,山崎 徹,栗下裕明,川合将義:
    "超微細粒ステンレス鋼316Lの開発"
    第10回核破砕中性子源材料研究会 KEK (2009. 12. 14-15).

     

    新部正人、井上尚三:
    "反応性スパッタ法で作製したTiN薄膜のN−KおよびTi−L2,3吸収分光"
    第45回X線分析討論会 講演予稿集,p.91−92 (2009).

     

    新部正人、前田佳恵、川上烈生、稲岡武、富永喜久雄、向井孝志:
    "プラズマエッチングしたGaN結晶のN−K吸収計測によるダメージ解析"
    第45回X線分析討論会 講演予稿集,p.93−94 (2009).

     

    川上烈生,稲岡武,富永喜久雄,新部正人,向井考志
    "クリプトンとアルゴンプラズマによる窒化ガリウムエッチングダメージ"
    2009年度 電気関係学会四国支部連合大会 (2009. 9. 26, 愛媛大学).

     

    稲岡武,川上烈生,富永喜久雄,新部正人,向井考志
    "非対称放電系容量結合型RFクリプトンプラズマの放電および発光特性"
    2009年度 電気関係学会四国支部連合大会 (2009. 9. 26, 愛媛大学).

     

    新部正人、古井田啓吾、中山 貴博、寺島 茂、三宅明、久保博義、角谷 幸信、松成秀一、青木貴史、河田真太郎:

    "オゾン導入によるEUV照射中の炭素膜堆積の抑制"
    平成21年秋季 第70回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.636 (2009).

     

    川上烈生、稲岡武、富永喜久雄、新部正人、向井孝志:
    "容量結合型KrプラズマによるGaNエッチングダメージ解析"
    平成21年秋季 第70回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.188 (2009).

     

    新部正人、前田佳恵、川上烈生、稲岡武、富永喜久雄、向井孝志:
    "ArおよびKrでRFプラズマしたGaN結晶の表面組成分析"
    平成21年秋季 第70回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.189 (2009).

     

    神田一浩,新部正人,横田久美子,田川雅人,松井真二:
    "高水素化DLC膜に対する軟X線照射効果"
    平成21年秋季 第70回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.528 (2009).

     

    神田一浩,岡田真,姜 有志,新部正人,鈴木常生,松井真二:
    "Ga FIB-CVD DLC膜からのアニールによるGaの脱離過程"
    平成21年秋季 第70回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.646 (2009).

     

     新部正人,古井田啓吾:
    "酸素およびオゾン雰囲気下でのEUV照射による炭素堆積膜の除去"
    平成21年春季 第56回応用物理学会関連連合講演会 予稿集, p.727 (2009).

     

    古井田啓吾、新部正人
    "極端紫外線リソグラフィー(EUVL)用多層膜ミラーへのカーボン堆積の抑制"
    第22回日本放射光学会年会 予稿集, p.74, 13P054 (2009.1.12).

     

    <2008年>

    古井田啓吾、新部正人
    "ハイドロカーボン種導入によるEUVL用投影光学系ミラーのコンタミネーション制御"
    平成20年秋季 第69回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.604 (2008).

     

    新部正人,宮本和佳,持地広造:
    "スパッタ法で作製したBN薄膜のNEXAFSピークの同定"
    第69回分析化学討論会 講演要旨集, p.144, G2011 (2008).
    2008年 5月15-16日 (名古屋国際会議場)

     

    古井田啓吾,新部正人,角谷幸信,松成秀一,青木貴史,高瀬博光,寺島茂,中山貴博,福田惠明:
    "シングルバンチ放射光を利用したEUVL用ミラーのコンタミネーション付着実験"
    平成20年春季 第55回応用物理学会関連連合講演会 予稿集, p.723 (2008).

     

    松成秀一,角谷幸信,青木貴史,村上勝彦,河田真太郎,中山貴博,寺島茂,高瀬博光,渡辺豊,五明由夫,新部正人,福田惠明:

    "極端紫外線照射による反射膜の酸化現象II"
    平成20年春季 第55回応用物理学会関連連合講演会 予稿集, p.722 (2008).

     

    古井田啓吾,新部正人,角谷幸信:
    "エタノール雰囲気でのEUV照射による投影光学系ミラーの表面酸化膜の還元"
    先端技術セミナー2008,イーグレ姫路, 2008. 3. 7.

     

    宮本和佳,新部正人,三田村徹,古井田啓吾,持地広造:
    "スパッタ法で作製したBN薄膜のNEXAFSピークの同定"
    先端技術セミナー2008,イーグレ姫路, 2008. 3. 7.

     

    新部正人:
    "EWMSを用いた6枚ミラー光学系の波面計測"
    先端技術セミナー2008,イーグレ姫路, 2008. 3. 7.

     

    古井田啓吾,新部正人,角谷幸信,松成秀一,青木貴史,高瀬博光,寺島茂,中山貴博,福田惠明:
    "エタノールを用いたEUV用多層膜ミラーの酸化コンタミネーションの還元"
    第21回日本放射光学会年会 予稿集, p.74, 13P054 (2008).

     

    宮本和佳,新部正人,角谷幸信,三田村徹,持地広造:
    "スパッタ法で作製したBN薄膜のNEXAFSピークの同定"
    第21回日本放射光学会年会 予稿集, p.112, 14P030 (2008).

     

    新部正人,古井田啓吾,角谷幸信,松成秀一,青木貴史,寺島茂,高瀬博光,福田惠明:
    "軟X線吸収分光法を用いた多層膜コンタミネーションのその場観察"
    第9回X線結像光学シンポジウム, 中部大学,名古屋 2007. 11. 2-3.

     

    <2007年>

    新部正人,古井田啓吾,角谷幸信,松成秀一,青木貴史,寺島茂,高瀬博光,渡辺豊,村上勝彦,福田惠明,五明由夫:
    "コンタミネーション研究におけるX線吸収分光法の応用II −定量性検討−"
    平成19年秋季 第68回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.712 (2007).

     

    古井田啓吾,新部正人,角谷幸信,松成秀一,青木貴史,高瀬博光,寺島茂,五明由夫,村上勝彦,福田惠明:
    "エタノール雰囲気でのEUV照射による投影光学系ミラー表面酸化の還元"
    平成19年秋季 第68回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.734 (2007).

     

    宮本和佳,新部正人,冷波,内田仁,三田村徹,持地広造:
    "スパッタ法とイオンビーム援用法で作製したBNx薄膜のNEXAFSによる構造評価"
    平成19年秋季 第68回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.606 (2007).

     

    新部正人
    "EUVコンタミネーションのin-situ2次元評価とXASの定量性検討」
    第4回放射光材料研究セミナー,兵庫県立先端科学技術支援センター, 2007. 6. 14.

     

    宮本和佳,新部正人,角谷幸信,三田村徹,持地広造:
    "スパッタ法によるa-CNx薄膜のNEXAFSスペクトルのバイアス電圧依存性"
    平成19年春季 第54回応用物理学会関連連合講演会 予稿集, p.637 (2007).

     

    角谷幸信,古井田啓吾,新部正人,五明由夫,高瀬博光,寺島茂,松成秀一,青木貴史,村上勝彦,福田恵明:

    "エタノール導入によるEUVL投影光学系多層膜ミラーコンタミネーション抑制の長時間耐性"
    平成19年春季 第54回応用物理学会関連連合講演会 予稿集, p.773 (2007).

     

    角谷幸信,古井田啓吾,新部正人:
    "EUVL投影光学系ミラーにおけるコンタミネーション抑制技術の開発"
    先端技術セミナー2007,イーグレ姫路, 2007. 3. 9.

     

    新部正人,宮本和佳,村松康司,三田村徹,谷口一雄:
    "BL9における材料分析研究の展開"
    先端技術セミナー2007,イーグレ姫路, 2007. 3. 9.

     

    長谷川正宣,大内千種,加藤正磨,岡田政志,杉崎克己,新部正人:
    "EUV実波長干渉計の実用化"
    先端技術セミナー2007,イーグレ姫路, 2007. 3. 9.

     

    宮本和佳,新部正人,角谷幸信,三田村徹,持地広造:
    "スパッタ法によるa-CNx薄膜のNEXAFSスペクトルの熱処理温度依存性"
    第20回日本放射光学会年会 予稿集, p.77, 13P071 (2007).

     

    角谷幸信,古井田啓吾,新部正人,五明由夫,高瀬博光,寺島茂,松成秀一,青木貴史,福田恵明:

    "EUVリソグラフィー投影光学系多層膜ミラーのエタノールを用いたコンタミネーション制御"
    第20回日本放射光学会年会 予稿集, p.107, 14P004 (2007).

     

    寺澤倫孝,岩田忠夫,三田村徹,新部正人,宮本和佳:
    "中性子照射した炭素系試料のNEXAFS測定"
    第20回日本放射光学会年会 予稿集, p.111, 13P019 (2007).

     

    <2006年>

    K. Sugisaki M. Okada, Y. Zhu, K. Otaki, Z. Liu, J. Kawakami, M. Ishii, J. Saito, K. Murakami, M. Hasegawa, C. Ouchi, S. Kato, T. Hasegawa, A. Suzuki, H. Yokota, M. Niibe, M. Takeda:
    "At-wavelength wavefront metrology with 0.1nm accuracy for extreme ultraviolet optical systems,
    " 21世紀COEシンポジウム, 2006年 10月19日, 大阪大学

     

    新部正人
    "ニュースバルを用いた材料分析研究の展開"
    はりま産学交流会セミナー,県立大研究発表会  姫路商工会議所  2006. 9. 22.

     

    新部正人,宮本和佳,三田村徹,角谷幸信,持地広造:
    "スパッタ法によるa-CNx薄膜のNEXAFSスペクトルのガス圧依存性"
    平成18年秋季 第67回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.540 (2006).

     

    新部正人,角谷幸信,寺島茂,高瀬博光,五明由夫,渡辺豊,松成秀一,青木貴史,村上勝彦,福田恵明:

    "EUV投影光学系のコンタミネーション研究におけるX線吸収分光法の応用"
    平成18年秋季 第67回応用物理学会関連連合講演会 予稿集, p.635 (2006).

     

    角谷幸信,新部正人,五明由夫,高瀬博光,寺島茂,田辺正幸,渡辺豊,松成秀一,青木貴史,村上勝彦,福田恵明:
    "EUV投影光学系多層膜ミラーに対するエタノール導入によるコンタミネーション抑制"
    平成18年秋季 第67回応用物理学会関連連合講演会 予稿集, p.653 (2006).

     

    高田寛之,渡邊博史,部屋彰,河本直哉,神田浩一,新部正人,松尾直人,望月孝晏:
    "アンジュレータ光源を使ったX線励起によるa-Si膜中における原子移動"
    平成18年秋季 第67回応用物理学会関連連合講演会 予稿集, p.664 (2006).

     

    1. Y. Hisaoka, S. Amano, S. Hisao, Y. Kakutani, T. Masuda, T. Matsubara, T. Mitsui. S. Miyamoto, M. Niibe and Y. Shoji:
    2. “Improvement of the Minimum Gap of the 10.8 M Long Undulator by an Adjustment of the In-Gap Vacuum Chamber”

    第3回日本加速器学会年会 予稿集、TP61 (2006).

     

    松成秀一,青木貴史,福田恵明,五明由夫,渡辺豊,高瀬博光,寺島茂,田辺正幸,新部正人,角谷幸信:

    "極端紫外線照射による反射膜表面の炭素膜形成現象"
    平成18年春季 第53回応用物理学会関連連合講演会 予稿集, p.765 (2006).

     

    角谷幸信,新部正人,高瀬博光,寺島茂,田辺正幸,渡辺豊,五明由夫,松成秀一,青木貴史,村上勝彦,福田恵明:

    "Ru保護層付EUVL投影光学系ミラーの照射強度依存性"
    平成18年春季 第53回応用物理学会関連連合講演会 予稿集, p.766 (2006).

     

    長谷川隆行,大内千種,長谷川正宣,加藤正磨,横田秀夫,杉崎克己,岡田政志,川上潤,村上勝彦,斉藤旬,新部正人,武田光夫:

    "EUV波面計測装置の開発"
    平成18年春季 第53回応用物理学会関連連合講演会 予稿集, p.766 (2006).

     

    新部正人,角谷幸信,三田村徹:
    "BL9における材料分析研究の展開"
    ニュースバルセミナー2006,イーグレ姫路, 2006. 3. 10.

     

    杉崎克己,岡田政志,朱郁葱,大滝桂,劉志強,川上潤,斉藤旬,村上勝彦,大内千種,加藤正磨,長谷川正宣,長谷川隆行,鈴木章義,横田秀夫,新部正人,武田光夫:
    "EUV波面計測技術の開発"
    ニュースバルセミナー2006,イーグレ姫路, 2006. 3. 10.

     

    角谷幸信,新部正人:
    "EUVリソグラフィー用多層膜ミラーの寿命評価"
    ニュースバルセミナー2006,イーグレ姫路, 2006. 3. 10.

     

    角谷幸信,新部正人,高瀬博光,寺島茂,五明由夫,松成秀一,青木貴史,村上勝彦,福田恵明:
    "水分圧をパラメータとする加速試験によるEUVL用多層膜ミラーの寿命評価"
    第19回日本放射光学会年会 予稿集, p.94 8P048M (2006).

     

    新部正人,岡田政志,杉崎克己,加藤正磨,大内千種,長谷川正宣,:
    "EUV干渉計による結像光学系の波面収差計測"
    第19回日本放射光学会年会 予稿集, p.144 9C006L (2006).

     

    <2005年>

    新部正人,加藤正磨,大内千種,長谷川正宣,岡田政志,杉崎克己:
    "EUVL投影光学系の実波長干渉計測法の開発"
    第8回X線結像光学シンポジウム, 神戸市産業振興センター 2005. 12. 13-14.

     

    新部正人
    "ニュースバルBL9での分光実験の準備状況"
    第1回放射光材料研究セミナー,兵庫県立先端科学技術支援センター, 2005. 12. 12.

     

    角谷幸信,新部正人,高瀬博光,寺島茂,近藤洋行,松成秀一,青木貴史,五明由夫,福田恵明:
    "EUVL光学系ミラーRuキャッピング評価@ EUV照射に対する反射率変化"
    平成17年秋季 第66回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.598 (2005).

     

    五明由夫,高瀬博光,角谷幸信,新部正人,寺島茂,青木貴史,松成秀一:
    "EUVL光学系ミラーRuキャッピング評価A コンタミメカニズムの検討"
    平成17年秋季 第66回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.599 (2005).

     

    岡田政志,杉崎克己,大滝桂,朱郁葱,斉藤旬,村上勝彦,大内千種,長谷川正宣,加藤正磨,鈴木章義,新部正人:
    "EUV波面計測におけるシステム誤差の評価2"
    平成17年秋季 第66回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.599 (2005).

     

    岡田政志,大滝桂,杉崎克己,朱郁葱,斉藤旬,村上勝彦,大内千種,長谷川正宣,加藤正磨,鈴木章義,新部正人:
    "EUV波面計測におけるシステム誤差の評価"
    平成17年春季 第52回応用物理学会関連連合講演会 予稿集, p.824 (2005).

     

    加藤正磨,大内千種,長谷川正宣,鈴木章義,杉崎克己,岡田政志,村上勝彦,斉藤旬,新部正人,武田光夫:
    "EUV実波長干渉計測方法の評価"
    平成17年春季 第52回応用物理学会関連連合講演会 予稿集, p.824 (2005).

     

     松成秀一,青木貴史,近藤洋行,五明由夫,高瀬博光,寺島茂,新部正人,角谷幸信:
    "極端紫外線照射による反射膜の酸化現象"
    平成17年春季 第52回応用物理学会関連連合講演会 予稿集, p.825 (2005).

     

    角谷幸信,新部正人,高瀬博光,寺島茂,近藤洋行,松成秀一,青木貴史,五明由夫,福田惠明:
    "EUVリソグラフィー用多層膜ミラーにおけるコンタミネーションの照射強度依存性"
    平成17年春季 第52回応用物理学会関連連合講演会 予稿集, p.825 (2005).

     

    新部正人:
    "EUVL用投影光学系の干渉波面計測 −シアリング干渉法を中心に−"
    ニュースバルセミナー2005,イーグレ姫路, 2005. 3. 7.

     

    角谷幸信,新部正人:
    "多層膜ミラーのコンタミネーション防止機構の研究"
    ニュースバルセミナー2005,イーグレ姫路, 2005. 3. 7.

     

    角谷幸信,新部正人,高瀬博光,寺島茂,近藤洋行,松成秀一,青木貴史,五明由夫,福田恵明:
    "EUV光を用いたリソグラフィー用ミラーに対するコンタミネーションの照射強度依存性"
    第18回日本放射光学会年会 予稿集, p.163, 9P030 (2005).

     

    新部正人,長谷川正宣,加藤正磨,大内千種,岡田政志,杉崎克己:
    "EUV干渉計による結像光学系の波面収差計測の開発"
    第18回日本放射光学会年会 予稿集, p.144, 9P135 (2005).

     

    <2004年>

    加藤正磨,大内千種,長谷川正宣,大久保彰律,鈴木章義,杉崎克己,岡田政志,村上勝彦,斉藤旬,新部正人:
    "EUV実波長干渉計による波面計測"
    平成16年秋季 第65回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.622 (2004).

     

    岡田政志,大滝桂,杉崎克己,朱郁葱,村上勝彦,大内千種,長谷川正宣,加藤正磨,鈴木章義,新部正人:
    "EUV波面計測における解析手法の改善"
    平成16年秋季 第65回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.622 (2004).

     

    角谷幸信,新部正人,高瀬博光,寺島茂,近藤洋行,松成秀一,青木貴史,五明由夫,福田恵明:
    "高照度EUV照射によるMo/Si多層膜ミラーの反射率低下"
    平成16年秋季 第65回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.623 (2004).

     

    大内千種,長谷川正宣,加藤正磨,鈴木章義,杉崎克己,村上勝彦,斉藤旬,新部正人:
    "実波長干渉計によるEUV波面計測法の評価"
    平成16年春季 第51回応用物理学会関連連合講演会 予稿集, p.779 (2004).

     

    角谷幸信,新部正人,垣内和也,井上尚三,小寺澤啓司,高瀬博光,寺島茂,近藤洋行,松成秀一,青木貴史,五明由夫,福田恵明:
    "EUV光リソグラフィー用ミラーに対するコンタミネーションの研究"
    平成16年春季 第51回応用物理学会関連連合講演会 予稿集, p.783 (2004).

     

    新部正人
    "極紫外光干渉による結像光学系の波面計測法の開発"
    日本原子力研究所関西研究所研究会 京都府木津町 2004. 3. 24.

     

    新部正人:
    "長尺アンジュレータ光の特性評価と応用"
    ニュースバルセミナー2004,イーグレ姫路, 2004. 3. 11.

     

    長谷川正宣,大内千種,加藤正磨,杉崎克己,新部正人:
    "EUV実波長干渉計の開発"
    ニュースバルセミナー2004,イーグレ姫路, 2004. 3. 11.

     

    角谷幸信,新部正人,垣内和也,高瀬博光,寺島茂,近藤洋行,松成秀一,五明由夫,福田恵明:
    "EUV光によるリソグラフィー用ミラーに対するコンタミネーション研究の概要"
    第17回日本放射光学会年会 予稿集, p.67, 9P53 (2004).

     

    新部正人,杉崎克己,長谷川正宣,大内千種,加藤正磨:
    "EUV干渉計による結像光学系の波面計測法の開発"
    第17回日本放射光学会年会 予稿集, p.118, 9P153 (2004).

     

    <2003年>

    新部正人,角谷幸信,向井幹人,木村洋昭:
    "Cr/C多層膜偏光素子によるアンジュレータ光の評価"
    第7回X線結像光学シンポジウム, 仙台市戦災復興記念会館 2003. 11. 26-27.

     

    長谷川正宣,大内千種,長谷川隆行,田中裕,杉崎克己,鈴木章義,村上勝彦,斉藤旬,新部正人:
    "EUVAのEUV実波長干渉計開発状況"
    平成15年秋季 第64回応用物理学会学術講演会 予稿集, p.637 (2003).

     

    新部正人,向井幹人,木村洋昭:
    "Cr/C多層膜軟X線偏光素子の開発II"
    平成15年春季 第50回応用物理学会関連連合講演会 予稿集, p.750 (2003).

     

    新部正人:
    "コヒーレント光応用ビームラインの整備と応用展開"
    ニュースバルセミナー2003,イーグレ姫路, 2003. 3. 13.

     

    新部正人,向井幹人,庄司善彦:
    "ニュースバル長尺アンジュレータビームラインの分光器分解能評価"
    第16回日本放射光学会年会 予稿集, p.171, 10P106 (2003).

     

    新部正人,向井幹人,木村洋昭:
    "Cr/C多層膜偏光素子・装置の開発とアンジュレータ光の偏光特性評価"
    第16回日本放射光学会年会 予稿集, p.241, 11C9 (2003).

     

    天野壮,安東愛之輔,内海裕一,神田一浩,木下博雄,庄司善彦,新部正人,橋本智,服部正,春山雄一,松井真二,望月孝晏,宮本修治,銘苅春隆,渡邊健夫:
    "姫路工業大学放射光施設NewSUBARUの現状"
    第16回日本放射光学会年会 予稿集, p.23, (2003).

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