目的
BL11では白色X線領域の放射光を感光性材料に照射することにより、高いアスペクト比を有するマイクロ立体構造体を形成する研究を行うビームラインです。BL11で使用可能な放射光のエネルギー範囲は約2keVから7keVであり、ミラーベント機構により単位面積あたりの光強度を可変することもできます。エンドステーションにはHeガスが導入可能であり、かつ露光基板の走査機構、および多軸稼働ステージにより、平面のみならず立体形状への露光が可能です。
構成
2枚のPtミラーで反射
200μm厚のBe窓を透過することによる低エネルギーカット
Heガス置換による局所的な熱影響を低減
ミラー・フィルター仕様
ミラーの仕様
| 光学素子 | 型式 | 表面粗さ | 被覆物 | 基板 | 大きさ L×W(mm) |
|---|---|---|---|---|---|
| M1 | Plane | 2.4 A RMS | Pt | Si | 800×50 |
| M2 | Sagittal Cylinder |
5.23 A RMS | Pt | Si | 600×70 |
フィルターの仕様
Be：200μm厚
スペクトル
露光位置での放射光スペクトル(1.0GeV）
露光位置での放射光スペクトル(1.5GeV)
エンドステーション
LIGA露光実験機
試料サイズ：最大4インチウェハ
露光エリア：幅50mm×高さ80mm
真空度：1気圧（Heガス）まで利用可能
立体構造チップコイル 製作例
