研究概要

研究概要

　放射光（ＳＲ）装置に関わるビームライン光学系、光学素子、エンドステーション、材料分析技術について研究を行っている。

　兵庫県立大学の付置施設であるニュースバル放射光実験施設において、長尺アンジュレータビームライン（BL09A）を担当。このビームラインにおいて、最高の成果が得られるように努めるのが、私に与えられたミッションである。

　キヤノン（株）勤務中より軟Ｘ線用多層膜ミラーの作製とその応用研究が、主な研究テーマであった。現在、この技術が次世代半導体製造技術である極端紫外線露光装置（ＥＵＶＬ）として、結実しようとしている。ニュースバルＢＬ９では、ＥＵＶＬ法の技術開発を支援する目的で、軟Ｘ線干渉計を用いたＥＵＶ投影光学系の波面収差計測法の開発およびＥＵＶＬ投影光学系のコンタミネーション防止機構の開発を、ＮＥＤＯの委託を受けた技術研究組合「極端紫外線露光システム開発機構（ＥＵＶＡ）」との共同研究として進めた。

　また、ニュースバルにおける材料解析研究の高度化（兵庫県立大学中期計画）の一環として、高輝度アンジュレータ光を用いた軟Ｘ線吸収分光(TEY, PEY, TFY）、光電子分光(XPS)の分析ステーションを建設した。さらに2013年度より文部科学省の先端研究基盤共用・プラットフォーム形成事業に参画し、新規の軟Ｘ線発光分光分析装置（50～650 eV）を整備し、その応用研究を進めている。

＜民間、他大学等との共同研究＞

１．ＥＵＶ絶対波面計測技術の開発，　 2001.1～2008.3，　（ASET, EUVA／ＮＥＤＯ）
２．コンタミ付着防止機構の開発，　　 2003.7～2009.3，　（ＥＵＶＡ／ＮＥＤＯ）
３．ピンホールコンタミネーション低減の研究，　2002.8～2007.3，　（ＥＵＶＡ）

４．各種ダイヤモンドライクカーボン(DLC)の評価　　2006.4～現在　（高度研神田研究室，長岡技科大工、神戸大工、他）

５．各種ＰＶＤ成膜法によるＢＮ薄膜の構造解析　　　2006,4～現在　（兵庫県立大工、井上研究室、清水電設工業）

６．GaN結晶およびTiO2薄膜のプラズマエッチングダメージの解析　2008.12～現在　（徳島大学工、中部大学総工研、日亜化学）

７，SiC結晶のプラズマエッチングダメージの解析，　　2010.12～現在　（徳島大学工、大阪市大学工）

８. カーボンナノチューブ，グラフェンへのイオン照射効果の研究， 2010.7～現在（兵庫県立大工、本多研究室、理研／SPring-8，兵庫教育大）

９．軟Ｘ線分析技術の高度化の研究　　　　　　　　　2013.4～現在　（住友電気工業（株））

１０．軽元素軟Ｘ線発光分光装置の開発，　　　　2013.4～現在　（（株）山佳ハイテクノロジー，徳島高氏）

１１．大気圧Heパスを用いた軟Ｘ線分光分析法の開発　　2017.4～現在　（北海道大学、山口大学）

１２．原子状水素を用いた放射光ミラーのオンサイト洗浄法の開発　2018.4～（兵庫県COEプログラム研究、兵庫県立大工、部家彰氏、他）

１３．ホウ素を含む２Ｄ単原子層膜の電子状態解析　　2019.4～（東京大学物性研究所、松田厳研究室、客員研究員）

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