<内海裕一>
(1)改訂版・表面科学の基礎と応用 (共著)
日本表面科学会編, 2004年6月22日発行。潟Gヌ・ティ・ーエス。
“基盤技術編―表面・界面の作製技術-光CVD”, pp.550-557.
(2)超精密生産技術体系 - 第1巻 超精密生産技術, 基本技術-(共著)
1994年11月発行。潟tジ・テクノシステム。
“放射光励起CVD法”, pp.968-975.
(3)季刊化学総説 No.12 「表面励起プロセスの化学」 (共著)
日本化学会編, 1991年6月発行。学会出版センター。
“放射光励起による表面プロセシング”, pp.104-112.
(4)プラズマ材料科学ハンドブック(共著)
日本学術振興会編,1992年9月発行。オーム社。
“光エッチング−放射光法−”, pp.583-589.
(5)『詳細・最新電鋳技術』(株式会社情報機構、2008年3月出版、共著、第4章第5節「マイクロ立体化学システムへの応用」p232-244)、
(6)『ケミカルエンジニヤリング』(株式会社化学工業社、2007年11月出版、「放射光LIGAプロセスを用いた3次元マイクロ化学システムの開発」p854-860、
(7)『バルブ技報』(社団法人バルブ工業会、2008年3月出版、「放射光LIGAプロセスを用いた多機能流体フィルタの開発」p77-85、
(8)『電子材料』(株式会社工業調査会、2008年3月出版、「波長可変型大面積LIGAプロセスの開発と高輝度液晶パックライトユニットへの 応用」p82-88