○ 2007 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, November
(Kyoto International Conference Center)
・ Surface modification of a diamond-like carbon thin film using
hyperthermal fluorine beam [6A-4-56]
N. Yamada, K. Kanda, K. Yokota, M. Tagawa, M. Niibe, Y. Haruyama and
S. Matsui.
・ Eduction’s Position Control of the Incorporated Gallium in the Diamond-like
Carbon Deposited by
Focused-Ion-Beam Chemical-Vapor-Deposition [6A-4-62]
R. Kometani, K. Nakamatsu, T. Kaito, Y. Haruyama, K. Kanda and S. Matsui
・ Evaluation of Resolution for Free-Space-Wiring Fabricated by FIB-CVD
[6A-4-101]
C. Minari, R. Kometani, K. Nakamatsu, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito
and S. Matsui.
・ Examination of FIB Repair Resolution for UV-Nanoimprint Mold [7B-7-8]
M. Okada, K. Nakamatsu, R. Kometani, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito
and S. Matsui.
○ The Sixth International Nanoimprint and Nanoprint Technology Conference,
October 2007 (Paris, France)
・ The annealing effect on an antisticking layer of nanoimprint mold [P-M5]
N. Yamada, K. Nakamatsu, K. Kanda, Y. Haruyama and S. Matsui.
○ 19th International Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Caarbon Nnotubes, and
Nitrides, (The Maritim Hotel Berlin, Berlin, Germany）
・ Characterization of High Nitrogen Content-Amorphous Carbon Nitride Films Using
NEXAFS Spectroscopy [P2.18.04]
K Kanda, J Igaki, R Kometani, S Matsui and H Ito
・ Comprehensive Classification of DLC Films Formed by Various Methods
Using
NEXAFS Measurement [P2.18.08]
A. Saikubo, N. Yamada, K. Kanda, S. Matsui, T. Suzuki, K. Niihara and
H. Saitoh
○ 第68回応用物理学会学術講演会，2007年9月（北海道工業大学）
・ a-CNx:H材料の水素吸蔵特性[5p-F-13]
伊藤治彦，野崎太郎，神田一浩，斎藤秀俊
・ HSQを用いた室温インプリントパターンへの紫外線照射効果[4a-ZN-7]
三成千明，中松健一郎，米谷玲皇，神田一浩，春山雄一，松井真二
・ FIBによるSiOxデポジションを用いて修正した光ナノインプリントモールドの
凹欠陥ラインの耐久性[5p-W-4]
岡田真，中松健一郎，米谷玲皇，神田一浩，春山雄一，松井真二
・ 超熱フッ素原子ビームを用いたダイヤモンドライクカーボンの表面改質[7a-W-3]
山田倫子，神田一浩，田川雅人，横田久美子，春山雄一，松井真二
・ 電子顕微鏡を用いたFIB-CVDにおける３次元ナノ構造成長のその場観察[7a-W-6]
米谷玲皇，神田一浩，春山雄一，皆藤孝，松井真二
○ 15th International Conference on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics,
(Konzerthaus, Berlin, Germany)
・ Photoemission study of the Au-SrTiO3(100) surface [Tsu-Pos080]
Y. Haruyama, Y. Aiura, H. Bando, K. Kanda and S. Matsui
○ 第10回XAFS討論会，2007年7月（JSTイノベーションプラザ北海道）
・ 軟Ｘ線吸収分光等を用いたＤＬＣ薄膜の包括的分析[26A05]
神田一浩，西窪明彦，山田倫子，鈴木常生，新原晧一，斎藤秀俊
・ ニュースバル産業専用分析ビームラインＢＬ−５の建設[P04]
神田一浩，雨宮健太，福島整，太田俊明，鶴井孝文，元山宗之，松井真二
○ New Diamond and Nano Carbons, May 2007 (Senri Life Science Center, Osaka)
・ Fabrication of fluorocarbon terminated DLC thin film using soft X-ray
[P3-9]
N. Yamada, K. Kanda, Y. Haruyama and S. Matsui
・ XAFS measurement of gallium in DLC thin film fabricated by FIB-CVD
method [P3-10]
A. Saikubo, J. Igaki, R. Kometani, K. Kanda and S. Matsui
○ 第54回応用物理学会関係連合講演会，2007年3月（青山学院大学）
・ 集束イオンビームエッチングとデポジションによる光ナノインプリントモールドの修正[27a-SL-5]
岡田真，井垣潤也，中松健一郎，米谷玲皇，神田一浩，春山雄一，松井真二
・ ナノインプリントモールド剥離剤としてのF-DLCの評価[27a-SL-6]
山田倫子，中松健一郎，神田一浩，春山雄一，松井真二
・ HSQ液滴塗布法を用いたナノインプリントにおける残渣[27p-SL-12]
三成千明，中松健一郎，米谷玲皇，神田一浩，春山雄一，松井真二
・ Ga K吸収端XAFSによるFIB-CVD DLC薄膜の局所構造解析[29p-SA-10]
西窪明彦，井垣潤也，米谷玲皇，神田一浩，松井真二
・ FIB-CVDにより作製した生体ナノ計測電極の評価[29p-SA-12]
米谷玲皇，小池裕幸，神田一浩，春山雄一，皆藤孝，松井真二
・ マイクロマニュピレータを用いたSEMによるナノスプリングの機械特性評価[29p-SA-13]
中松健一郎，神田一浩，春山雄一，皆藤孝，松井真二
○ The Fifth International Nanoimprint and Nanoprint Technology Conference,
November 2006 (Renaissance Parc 55 Hotel, San Francisco)
・ Mechanical characteristics of Metal-Containing Nanosprings Fabricated
by Combination of
FIB-CVD and Sputter Coating [NS-ThP18]
K. Nakamatsu, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito and S. Matsui.
・ Development of the Integrated Manipulation System using 3-D Nano-Manipulator
Fabricated by
Focused-Ion-Beam Chemical-Vapor-Deposition [NS-ThP19]
R. Kometani, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito and S. Matsui
・ Evaluation of Resolution for Free-Space-Wiring Fabrication by FIB-CVD [NS-ThP24]
C. Minari, R. Kometani, K. Nakamatsu, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito
and S. Matsui.
○ AVS 53rd International Symposium & Exhibition,
November 2006 (Moscone West Convention Center, San Francisco)
・ Mechanical characteristics of Metal-Containing Nanosprings Fabricated by Combination of
FIB-CVD and Sputter Coating [NS-ThP18]
K. Nakamatsu, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito and S. Matsui.
・ Development of the Integrated Manipulation System using 3-D Nano-Manipulator
Fabricated by
Focused-Ion-Beam Chemical-Vapor-Deposition [NS-ThP19]
R. Kometani, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito and S. Matsui
・ Evaluation of Resolution for Free-Space-Wiring Fabrication by FIB-CVD
[NS-ThP24]
C. Minari, R. Kometani, K. Nakamatsu, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito
and S. Matsui.
・ Annealing effect of Electronic Properties for Tungsten Wires Fabricated
by
FIB and EB-CVD [NS-ThP25]
A. Ozasa, K. Nakamatsu, R. Kometani, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito
and S. Matsui.
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