○ 2003 International Microprocesses and Nanotechnology Conference,
November (Tokyo Fashion Town)
・ Electron Resistivity Evaluation of Air-Wiring Formed in Nano-Space
by
Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition [30B-4-1]
T. Morita, R. Kometani, K. Watanabe, K. Kanda, Y. Haruyama, K. Kondo,
T. Hoshino, T. Kaito,
J. Fujita, T. Ichihashi, M. Ishida, Y. Ochiai, T. Tajima and S. Matsui.
・ Nanoimprint Mold Repair by Ga+ Focused-Ion-Beam [30P-6-33L]
K. Watanabe, T. Morita, R. Kometani, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito
and S. Matsui.
・ Synchrotron Radiation Effect on the Surface Properties of Synthetic
Organic Polymers
[30P-7-41]
Y. Kato, K. Kanda, Y. Haruyama and S. Matsui.
・ Characteristics of Nano-Electrostatic Actuator Fabricated by FIB-CVD
[31B-8-2]
R. Kometani, T. Morita, K. Watanabe, T. Hoshino, K. Kondo, K. Kanda, Y. Haruyama,
T. Kaito, J. Fujita, M. Ishida, Y. Ochiai and S. Matsui.
○ 日本物理学会 2003年秋季大会, (岡山大学)
・Si(100)表面上におけるAu薄膜の電子状態［21aYD-9］春山雄一， 神田一浩， 松井真二
○ 第63回応用物理学関係連合講演会, 2003年秋季（福岡大学）
・ 集束イオンビームを用いた静電ナノアクチュエーターの作製［30a-YD-2]
米谷玲皇、森田貴彦、渡辺啓一郎、星野隆行、近藤和茂、神田一浩、春山雄一、皆藤孝、
藤田淳一、石田真彦、落合幸穂、松井真二
・ 集束イオンビームを用いた空中配線の構築とその評価［30a-YD-3]
森田貴彦、米谷玲皇、渡辺啓一郎、星野隆行、近藤和茂、神田一浩、春山雄一、皆藤孝、
藤田淳一、市橋鋭也、石田真彦、落合幸穂、多嶋勉、松井真二
・ 有機合成ポリマーの放射光による表面加工［30p-YD-2]
加藤有理、神田一浩、春山雄一、松井真二
・ Ga＋収束イオンビーム直接描画パターンに対する熱処理時におけるGaの析出［2p-ZK-3]
渡辺啓一郎、森田貴彦、米谷玲皇、神田一浩、春山雄一、皆藤孝、多嶋勉、松井真二
○ International Conference on Electronic Spectroscopy and Structure (ICESS-9),
June 2003 (Uppsala, Sweden)
・ Study of Au-Si(100) interface by means of Si 2p core-level photoemission
spectroscopy.
Y.Haruyama, K.Kanda and S.Matsui.
○ 第50回応用物理学関係連合講演会，2003年春季（神奈川大学）
・ DLC薄膜形成におけるArクラスターおよびArモノマーイオンの照射効果 [27p3-P3-16]
・ Arクラスターイオン援用DLC膜蒸着における基板温度依存性[27p3-P3-17]
・ FIB-CVDによる任意立体構造描画システムの開発 [27a-YL-12]
・ 収束イオンビームを用いたガラスキャピラリー上での立体ナノ構造デバイスの作製
[27a-YL-13]
・ 収束イオンビームを用いたナノ空間配線の構築 [27a-YL-14]
・ PTFEのSRの表面改質におけるDose量依存性 [27p-YL-7]
○ 9th Symposium on " Microjoining and Assembly Technology in Electronics
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2003年2月(横浜)
・シンクロトロン放射光加工におけるマスク材料としてのSOGの適用
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