--------------------------------2002-----------------------------------------------
○ 第4回生産加工・工作機械部門講演会, 2002年11月 (犬山国際観光センター"フロイデ")
・ ＳＯＧをマスクとしたシンクロトロン放射光による微細加工[319]
○ 17th International Conference on the Application of Accelerators in Research
and Industry,
November 2002 (University of North Texas)
・ Local structures of DLC thin films deposited with Ar cluster ion beam
by NEXAFS [HB8]
K. Kanda, T. Kitagawa, Y. Shimizugawa, H. Tsubakino, I. Yamada and S.
Matsui.
・ Difference of irradiation effects between Ar monomer and cluster ion
for DLC film information
[PC8]
T. Kitagawa, K. Miyauchi, K. Kanda, Y. Shimizugawa, S. Matsui, N. Toyoda,
H. Tsubakino, T. Gejo,
J. Matsuo, and I. Yamada
・ Optimization of DLC film deposition with Ar cluster ion beams [PC9]
K. Miyauchi, T. Kitagawa, K. Kanda, Y. Shimizugawa, S. Matsui, H. Tsubakino, T. Gejo,
N. Toyoda and I. Yamada
○ 2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference,
November (Tokyo Fashion Town)
・ NEXAFS study for optimization of hard DLC films formation with Ar cluster
ion beam [7B-6-3]
T. Kitagawa, K. Miyauchi, K. Kanda, Y. Shimizugawa, N. Toyoda, H. Tsubakino,
S. Matsui,
J. Matsuo, and I. Yamada
・ Three-Dimensional Nanoimprint using a mold made by Focused-Ion-Beam
Chemical-Vapor-Deposition [7P-7-30]
T. Morita, R. Kometani, K. Watanabe, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito, J. Fujita, M. Ishida,
Y. Ochiai and S. Matsui.
・ Nano Bio-Injector Fabrication by Focused-Ion-Beam Chemical-Vapor-Deposition
[7P-7-40]
R. Kometani, T. Morita, K. Watanabe, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito, J. Fujita, M. Ishida,
Y. Ochiai and S. Matsui.
・ PMMA direct patterning by Synchrotron Radiation using SOG mask [7P-7-52]
J. Taniguchi, S. Takezawa, K. Kanda, Y. Haruyama, S. Matsui, I. Miyamoto
・ Surface modification of fluorocarbon polymers by synchrotron radiation
[7P-7-53]
K.Kanda, T.Ideta, Y.Haruyama, H.Ishigaki and S.Matsui.
○ 分子構造総合討論会, 2002年10月 （神戸国際会議場）
・ 極端真空紫外光を用いたアルキルシアナイドおよびアルキルイソシアナイドの光励起解離過程の
構造依存性 [1D11]
○ 4th International Conference on Ion Implantation Technology, September
2002 (Taos)
・ NEXAFS study of DLC films deposited with Ar cluster ion and Ar+ bombardment
[A3241]
T. Kitagawa, S. Matsui, K. Kanda, Y. Shimizugawa, N. Toyoda, K. Miyauchi,
H. Tsubakino, T. Gejo,
J. Matsuo and I. Yamada.
○ 第63回応用物理学関係連合講演会, 2002年秋季 （新潟大学）
・ Arクラスターイオン援用DLC膜の放射光評価を用いた成膜プロセス安定性の検討 [26a-ZR-11]
・ SOGをマスクとしたPMMAのシンクロトロン放射光による加工 [25a-W-6]
・ 放射光照射によるPTFEの表面改質 [25a-W-7]
○ 13th International Conference on Ion Beam Modification of Materials,
September, 2002 (Kobe)
・ NEXAFS Study of Hard Carbon Film Formed by Gas Cluster Ion Beam Assisted
Deposition of
Fullerene [P3-107]
K. Kanda, T. Kitagawa, Y. Shimizugawa, Y. Haruyama, T. Gejo, H. Tsubakino,
I. Yamada, S. Matsui.
・ Influence of residual Ar+ in Ar cluster ion beam for DLC film formation [P3-114]
T. Kitagawa, K. Miyauchi, N. Toyoda, K. Kanda, T. Ikeda, H. Tsubakino, J. Matsuo,
S. Matsui, and I. Yamada.
○ 日本機械学会年次大会, 2002年9月 （東京大学）
・ SOGをマスクとしたシンクロトロン放射光による微細加工
○ 日本物理学会2002秋季大会, 2002年9月 （中部大学）
・ ニュースバル・ビームライン７Ｂの性能評価
○ 第148回レーザー協会研究会, 2002年5月 （中央大学）
・ 放射光によるSOGの微細加工
○ 第49回応用物理学関係連合講演会, 2002年春季 （東海大学）
・ 酸素分子線によるEr蒸着膜の初期酸化過程の観察 ［27a-G-12/II]
・ GeO2添加SiO2ガラスの放射光誘起屈折率変化 ［28p-ZS-17/III］
・ Arクラスターイオン援用蒸着DLC膜の放射光による評価とその膜特性 ［30p-YL-1/II］
--------------------------------2001-----------------------------------------------
○ Material Research Society Fall Meeting Proceeding 2001, November (Boston)
・ Near-edge X-ray Absorption Fine Structure of Hard Carbon Film Formed by Gas Cluster Ion Beam
Assisted Deposition. [L3.25]
○ 2001 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, October
(Matsue)
・ Characteristics of hard DLC film formed by gas cluster ion beam assisted
deposition. [1C-5-3]
・ Etching of Spin-on-Glass Films by Synchrotron Radiation. [1D-6-37]
○ 第62回応用物理学関係連合講演会, 2001年秋季 （愛知工業大学）
・ GCIB援用形成したDLC薄膜の放射光評価 [14p-ZT-4]
・ 放射光照射によるPTFE表面の機械的特性および摩擦特性変化− [13G-II-7]
・ SOGのシンクロトロン放射光による加工 [13G-II-8]
○ 第14回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム，2001年 （広島大学）
・ ニュースバルビームライン７の建設 [13-P-38]
--------------------------------2000-----------------------------------------------
○ 7th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation,
2000 (Berlin)
・Design of the undulator beamline (BL-7) at New SUBARU. [POS1-082]
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