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	ナノマイクロシステム分野 SR-MEMS研究室

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	スタッフ
	教授　服部正 助教　野田大二 テクニカルスタッフ　山下健治，木本学 秘書　木下泉，深澤訓子

	研究テーマ

現在の機械加工技術では到達できていないμmレベルの微細加工が実現でき、量産可能な技術であるLIGAプロセスを用いて高アスペクト比(高さと幅の比)構造の3次元構造体の作製を行い，様々なデバイスへ応用展開を目指しています。 LIGAプロセスとはX線リソグラフィ、電気鋳造を用いた精密金型の作製、樹脂成形による大量生産する技術を統合したプロセスです。

無痛針金型	PMMA構造体	SU-8構造体
蚊の小顎の形状に着目したノコギリ刃状の無痛針の金型	導光板用テーパー形状を有する ドットパターン	Siドライエッチング法によって作製したX線マスク用高アスペクト比構造体

	平成21年度　プロジェクト

	研究設備

	・NewSUBARU BL2 (大面積露光用産業ビームライン)
	・NewSUBARU BL11(集光型研究用ビームライン)
	・高度産業科学技術研究所実験室

	主な試作品

・詳細

	研究業績

	・平成20年度
	・平成19年度
	・平成18年度
	・平成17年度
	・平成15-16年度
	・平成12-14年度

・ご意見・ご要望はSR-MEMS@lasti.u-hyogo.ac.jpまでお願いします。