先端研究施設共用促進事業トライアルユース成果公開

先端研究施設共用促進事業トライアルユース成果公開

 ニュースバル放射光施設では、産業界からの利用を促進するために、産業界の利用ニーズの掘り起こしを目的とした無償利用(トライアルユース)の枠組みを設けています。その成果を利用年度順に公開しますのでご参考ください。


  • 放射光LIGAによる大面積新型金型の試作検討
  • 成果公開延期
  • EUVレジストの開発
  • 酸化物のキャラクタリゼーション(状態分析)
  • 磁界励起型イオンプレーティング装置を用いて作製したBN薄膜の化学結合評価
  • セラミックス焼結体の副生成物の分析
  • EUVL用多層膜光学素子の性能評価
  • 環境浄化用機能性無機化合物の分子構造及び電子状態解析
  • La/B4C 多層膜の反射率計測
  • 成果公開延期
  • 成果公開延期
  • EUV用光学素子の反射率測定と透過率測定
  • XAFSを利用したポリマーの架橋構造解析
  • Al/Ni基板上に成膜されたカーボン薄膜の構造分析
  • XAFSによるホウ素含有工業材料の構造解析
  • LIGA用X線露光の転写パタン形状の研究
  • 炭素系硬質膜の構造解析
  • 真空排気装置中に付着した物質の解明
  • ニュースバルの産業利用推進のためのトライアルユース利用
  • dumy
  • 極端紫外光リソグラフィー関連開発研究極端紫外光リソグラフィー関連開発研究
  • ナノマイクロ加工、及びMEMS、ナノバイオ応用研究開発ナノマイクロ加工、及びMEMS、ナノバイオ応用研究開発
  • 材料分析および光励起反応利用の産業応用材料分析および光励起反応利用の産業応用
  • レーザーコンプトン散乱ガンマ線利用レーザーコンプトン散乱ガンマ線利用

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