ニュースバル放射光施設

• 基調講演１
  　　「「はやぶさ」により持ち帰った小惑星試料の分析」
  　　圦本 尚義（北海道大学理学部 ）
• 基調講演２
  　　「エコと安全を両立する高性能タイヤの開発」
  　　岸本 浩通（住友ゴム工業株式会社）
• 　　「NEXAFS法を用いたBN薄膜の成長過程の観測」」
  　　新部 正人(高度産業科学技術研究所)
• 　　「放射光直接エッチングを用いた高周波回路部品の開発」
  　　岸原 充佳（岡山県立大学情報工学部）
• 　　「NewSUBARU・ガンマ線源とその利用」
  　　嶋 達志(大阪大学核物理研究センター)
• 　　「NewSUBARUの高輝度放射光を用いたEUVリソグラフィーの基盤研究」
  　　塩原 英志(株式会社EUVL基盤開発センター)
• 　　「環状オリゴマーを基盤とした分子レジスト材料の開発」
  　　工藤 宏人(関西大学化学生命工学部)
• 　　「ナノインプリントの現状とセンターの役割」
  　　松井 真二(高度産業科学技術研究所)

• 1. 「NewSUBARU 加速器性能改善」
  庄司善彦（兵庫県立大学高度研）、 竹村育浩、皆川康幸（JASRI/SES） 　　
• 2. 「テラヘルツ光源開発に向けた小型線型加速器LEENAの改善」
  橋本智、陳彩華、川田健二、天野壮、宮本修治（兵庫県立大学高度研）、 皆川康幸、竹村育浩（JASRI/SES）、 李大治（レーザー技術総合研究所）
• 3.「小型線型加速器LEENAによるテラヘルツ光の発生とその評価」学生ポスター賞
  陳彩華(M2)、橋本智、川田健二、天野壮、宮本修治（兵庫県立大学高度研）、 皆川康幸、竹村育浩（JASRI/SES）、 李大治（レーザー技術総合研究所）
• 4.「ニュースバルBL01Aインターロックシステムの建設」
  濱田洋輔、松下智裕、石澤康秀（JASRI）、 宮本修治（兵庫県立大学高度研）
• 5.「レーザ・コンプトンガンマ線源の評価に関する研究」
  北川靖久（M2）、橋本智、宮本修治（兵庫県立大学高度研）、 小泉昭久（兵庫県立大学物質理学研究科）
• 6.「レーザーコンプトンγ線による対生成高速陽電子を用いた材料評価法に関する研究」
  石井康嗣(B4)、堀史説、小野寺直利、岩瀬彰宏（大阪府立大学）、 北川靖久、宮本修治、寺澤倫孝（兵庫県立大学高度研）
• 7.「軟Ｘ線照射による水素化DLC膜における変化の解明」
  今井亮（B4）、新部正人、神田一浩（兵庫県立大学高度研）、 鈴木常生、斎藤秀俊（長岡技術科学大学）
• 8.「光照射によるTiO2薄膜のエッチングダメージの回復」
  佐野桂治（B4）、新部正人、小高拓也（兵庫県立大学高度研）、 川上烈生、富永喜久雄（徳島大院工）、 中野由崇（中部大総工研）
• 9.「表面と内部で構造の異なる薄膜の軟X線吸収分光測定」
  小高拓也（M2）、新部正人（兵庫県立大高度研）
• 10.「a-Ge, a-SiGeへの軟X線照射結晶化における光子エネルギー依存性」
  丸山裕樹（M1）、木野翔太（M2）、部家彰、松尾直人（兵庫県立大学院工）、 天野壮、宮本修治、神田一浩（兵庫県立大学高度研）、 都甲薫、佐道泰造、宮尾正信（九大院シス情報）
• 11.「軟X線光源によるSi中のB不純物の活性化と拡散抑制」
  福岡琢人（M2）、部家彰、松尾直人（兵庫県立大学院工）、 春山雄一、神田一浩（兵庫県立大学高度研）、
• 12.「軟X線吸収分光法によるイオン照射多層グラフェンの構造・電子状態評価」
  武田昂之（B4）、塚越旭（M2）、本多信一（兵庫県立大学院工）、 新部正人、寺澤倫孝（兵庫県立大学高度研）、 平瀬龍二、吉岡秀樹、泉宏和（兵庫県立工業技術センター）、 庭瀬敬右（兵庫教育大学）、 田口英次（大阪大学超高圧電顕センター）、 和賀井達也、大浦正樹（理研/SPring-8）
• 13.「軟X線に対するアミノ酸関連物質の安定性および変成評価」
  川本幸徳（M2）、金子竹男、大林由美子、小林憲正（横浜国大院工）、 三田肇（福岡工大工）、 神田一浩（兵庫県立大学高度研）
• 14.「産業用分析ビームライン（BL05）の現況について」
  上村雅治、長谷川孝行、深田昇（シンクロトロンアナリシスLLC）、 新部正人、春山雄一、元山宗之、神田一浩（兵庫県立大学高度研）
• 15.「産業用分析ビームライン（BL05）の利用状況について」
  長谷川孝行、上村雅治、深田昇、鶴井孝文、清水政義、横井信生 （シンクロトロンアナリシスLLC）、 元山宗之、神田一浩（兵庫県立大学高度研）
• 16.「極低温冷凍機による連続供給レーザープラズマターゲット」
  天野壮（兵庫県立大高度研）
• 17.「レーザー生成Xeプラズマ用軟X線集光ミラーの研究」
  井上智章(D3)、望月孝晏、天野壮、神田一浩（兵庫県立大高度研）
• 18.「EUVマスク検査のための高倍率EUV顕微鏡の開発」
  時政明史（M2）、原田哲男、渡邊健夫、木下博雄（兵庫県立大学高度研）
• 19.「EUVマスクの欠陥特性評価のためのマイクロコヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡の開発」
  田中祐輔（B4）、原田哲男、渡邊健夫、木下博雄（兵庫県立大学高度研）、 臼井洋一（EUVL基盤開発センター）
• 20.「高次高調波を用いたコヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡によるパタン欠陥の観察」
  中筋正人（M2）、九鬼真輝、原田哲男、渡邊健夫、木下博雄（兵庫県立大学高度研）、 永田豊（理研）
• 21.「Micro-CSMによるEUVブランク観察」
  臼井洋一、天野剛、寺澤恒男（EUVL基盤開発センター）、 田中祐輔、原田哲男、渡邊建夫、木下博雄（兵庫県立大学高度研）
• 22.「High-NA用広角多層膜反射鏡ブランク」
  臼井洋一　尾上貴弘　浜本和宏　池邊洋平（HOYA）、 田中祐輔　原田哲男　渡邊建夫　木下博雄（兵庫県立大学高度研）
• 23.「旭硝子におけるEUVブランクマスクの開発」
  林和幸、宇野俊之（旭硝子）
• 24.「ＥＵＶリソグラフィー用ペリクルの開発」
  山田素行、秋山昌次、久保田芳宏（信越化学工業）、 木下博雄、渡邊健夫、原田哲男（兵庫県立大学高度研）
• 25.「EUVリソグラフィー用のMo/Si多層膜成膜装置の高度化」学生ポスター賞
  九鬼真輝（B3）、原田哲男、渡邊健夫、木下博雄（兵庫県立大学高度研）
• 26.「1X nm EUVレジスト評価のためのEUV干渉露光系の開発」
  浦山拓郎（M2）（兵庫県立大学高度研）
• 27.「SR吸収分光法によるPHS系レジストの反応メカニズム解析」学生ポスター賞
  江村和也（B4）、原田哲男、渡邊健夫、木下博雄（兵庫県立大学高度研）
• 28.「EUV用低分子レジストの開発」
  柏村孝、塩谷英昭（出光興産）、 渡邊健夫、木下博雄（兵庫県立大学高度研）
• 29.「EUVリソグラフィ用ネガ型レジストの開発」
  越後雅敏、落合ゆみ、山川雅子、岡田悠、高須賀大晃（三菱ガス化学）、 渡邊健夫、木下博雄（兵庫県立大学高度研）
• 30.「16nm 以下の微細加工に向けた自己組織化材料の適用検討」
  塩野大寿、黒澤剛志、宮城賢、宮下健一郎、松宮祐、大森克実、佐藤和史 （東京応化工業株式会社）
• 31.「3次元Lab-on-a-chipに積層可能な前処理デバイスの研究」
  能勢博喜（M2）、黒田量久、國貞武志、石澤昌樹、山口明啓、内海裕一 （兵庫県立大学高度研）
• 32.「フルプロトコルlab-on-a-CDプロトタイプの作製」
  國貞武志（B4）、能勢博喜、石澤昌樹、黒田量久、山口明啓、内海裕一 （兵庫県立大学高度研）
• 33.「Lab-on-a-CDのためのミキシング構造検討」
  黒田量久（B4）、能勢博喜、石澤昌樹、國貞武志、山口明啓、内海裕一 （兵庫県立大学高度研）
• 34.「新規送液法を用いたLab-on-a-CDのELISA洗浄工程の検討」
  石澤昌樹（M1）、能勢博喜、黒田量久、國貞武志、内海裕一（兵庫県立大学高度研）
• 35.「アミノ酸分析のためのフッ素樹脂製マイクロ流体デバイスの製作」
  木戸秀樹（M1）、山口明啓、内海裕一（兵庫県立大学高度研）、 三田肇（福工大工）
• 36.「ポスト壁導波路によるマイクロ波加熱用マイクロ流体チップの提案」
  佐々木亮（B4）、山口明啓、内海裕一（兵庫県立大学高度研）、 岸原充佳（岡山県立大学）
• 37.「弾性表面波を用いた集粉デバイスの提案」
  松井優耶（B4）、有末康人、山口明啓、内海裕一（兵庫県立大学高度研）、 才木常正（兵庫県立工業技術センター）
• 38.「弾性表面波デバイスを用いた粉体輸送に関する研究」
  有末康人（M1）、才木常正（兵庫県立工業技術センター）、 内海裕一（兵庫県立大学高度研）
• 39.「表面増強ラマン散乱を用いた3次元構造体の作製と評価」
  高橋亮（M1）、福岡隆夫、内海裕一、山口明啓（兵庫県立大学高度研）、
• 40.「3次元構造体を用いた表面増強ラマン散乱の測定」
  原亮平（B4）、高橋亮、福岡隆夫、山口明啓、内海裕一（兵庫県立大学高度研）
• 41.「金ナノ粒子の三次元自己集合体を用いた一分子レベル計測」
  福岡隆夫、高橋亮、内海裕一、山口明啓（兵庫県立大学高度研）
• 42.「LIGAプロセスを用いた静電容量型傾斜角センサの作製」
  久保山優（M2）、内海裕一（兵庫県立大学高度研）
• 43.「立体型マイクロ磁気インピーダンスセンサの作製と評価」
  山本敏寛（B4）、寄玉侑司、内海裕一、山口明啓（兵庫県立大学高度研）、 内山剛（名古屋大学）
• 44.「空中映像生成のための放射光を用いたミラーアレイデバイスの作製」
  山根朋久（B4）、内海裕一（兵庫県立大学高度研）、 前川聡（情報通信研究機構）
• 45.「X線リソグラフィを用いた２面コーナーリフレクタアレイの作製」
  寄玉侑司（M2）、内海裕一（兵庫県立大学高度研）、 岡田育夫（名古屋大学）、 前川聡、Singh Vijay Kumar（情報通信研究機構）
• 46.「放射光照射による石英系ガラス膜の表面改質」
  梅地宏明（M2）、竹沢俊、上田亮太、森脇和幸（神戸大学院工）、 神田一浩、松井真二（兵庫県立大学高度研）
• 47.「フッ素系添加剤含有レジストの離型特性と添加剤偏析状態評価」
  大山貴弘（B4）、岡田真、伊吉就三、春山雄一、松井真二（兵庫県立大学高度研）
• 48.「NEXAFS測定による光反応性高分子液晶の配向性評価」
  春山雄一、岡田真、松井真二（兵庫県立大学高度研）、 西岡江美、近藤瑞穂、川月喜弘（兵庫県立大学院工）
• 49.「光反応性高分子液晶段差構造物の配向評価」
  岡田真、春山雄一、松井真二（兵庫県立大学高度研）、 西岡江美、近藤瑞穂、川月喜弘（兵庫県立大学院工） 小野浩司（長岡技術科学大学）

#学生ポスター賞：学生のポスター発表を対象に高度研教員およびセミナー参加者（学生を除く）による投票により 優秀な発表を行った学生2~3名を選考します。