ニュースバル放射光施設

• 退官記念講演：「創造へのあくなき挑戦」　服部 正（兵庫県立大学　教授）
• 特別講演：「顔の見える大学を目指して― 兵庫県立大学の先端研究拠点」　清原 正義（兵庫県立大学　学長）
• ニュースバル利用産業界の研究報告（口頭発表）
  
  
  • ニュースバル共用促進事業報告
    「ニュースバル放射光施設共用促進事業」　宮本 修治（兵庫県立大学　教授）
  • ＥＵＶリソグラフィ
    「EUVリソグラフィー研究開発センターにおける今年度の成果」　木下 博雄（兵庫県立大学　教授）
  • ナノ・マイクロシステム
    「LIGAプロセスー高硬度微細金型の作製」　北谷 武（佐和鍍金工業株式会社）　
  • 産業用材料分析
    「産業用分析ビームライン（BL05）の現状」　上村 雅治（合同会社シンクロトロンアナリシスLLC）

• 1.「チューン自動補正によるニュースバル蓄積電子ビームの安定化」
  　　濱田洋輔(物質理学研究科M1)、皆川康幸、篠本考秀（JASRI）、 橋本智、宮本修治
• 2.「ニュースバル放射光の高輝度化に向けた研究」学生ポスター賞
  　　陳彩華（理学部 物質科学科B4）、橋本智、宮本修治
• 3.「逆偏向電磁石内６極コイル励磁によるタウシェック寿命改善」
  　　篠本考秀、皆川康幸（JASRI）、 庄司善彦
• 4.「加速器安全インターロックシステム構造更新（エリア管理化）」
  　　川田健二、古田亮三、籠正裕、佐治超爾、増田剛正、松下智裕、山下明広、 田中良太郎（JASRI 制御・情報部門）、 早乙女光一、鈴木伸介、高雄勝、佐々木茂樹、米原博人、花木博文、 大熊春夫（JASRI 加速器部門）、 成山展照（JASRI 光源・光学部門）、 橋本勇次、都筑之彦、長岡鋭（JASRI 安全管理室）、 橋本智、宮本修治
• 5.「NewSUBARUへの入射マッチング調整技術の確立」
  　　竹田幸二（物質理学研究科M2）、 庄司善彦
• 6.「潮汐力と地震発生の相関関係について」
  　　宮原義一、三田村徹、松井佐久夫（JASRI）
• 7.「Ti-Saf レーザーによるコンプトン散乱ガンマ線発生」
  　　戸中大輔(物質理学研究科M1)、堀川賢(工学研究科D3)、 北川靖久(理学部 物質科学科B4)、 長谷川尊之、髙木芳弘（物質理学研究科）、 橋本智、宮本修治
• 8.「レーザーコンプトン散乱ガンマ線によるイメージング」
  　　北川靖久(理学部 物質科学科B4)、戸中大輔(物質理学研究科M1)、 堀川賢(工学研究科D3)、橋本智、宮本修治、篠本考秀(JASRI)
• 9.「レーザーコンプトンガンマ線イメージングによる物質同定」
  　　天野壮、 堀川賢(工学研究科D3)
• 10.「レーザーコンプトン散乱ガンマ線による129Iの光核反応断面積の測定」
  　　堀川賢(工学研究科D3)、戸中大輔(物質理学研究科M1)、 北川靖久(理学部 物質科学科B4)、 望月孝晏、宮本修治、天野壮、渡邊健夫、 李　大治、今崎一夫、井澤靖和(レーザー技術総合研究所)
• 11.「レーザー生成プラズマを用いた低エネルギーBイオン注入法」
  　　関岡嗣久(工学研究科)、 井上智章(工学研究科D1)、 天野壮、望月孝晏
• 12.「プラズマデブリ耐性斜入射EUVミラー」
  　　天野壮、原田哲男、井上智章(工学研究科D1)
• 13.「回転ドラム式キセノンクライオターゲットを用いた波長5-17nm におけるブロードバンド軟X線」
  　　井上智章(工学研究科D1)、 望月孝晏、宮本修治、天野壮、渡邊健夫
• 14.「アルゴンバッファガスを用いたレーザー生成キセノンプラズマ デブリスパッタリングの抑制」
  　　井上智章(工学研究科D1)、 天野壮、宮本修治、望月孝晏、渡邊健夫
• 15.「レーザープラズマEUV光による微細加工」
  　　天野壮、 井上智章(工学研究科D1)
• 16.「X線リソグラフィによるX線格子の作製と位相イメージング」
  　　野田大二、山下健治、服部正、 徳岡篤(工学研究科M1)、溝口陽介(工学部 機械システム工学科B4)、 香取めぐみ、西田諭史（㈱ナノクリエート）
• 17.「ICPエッチング技術による微細金属構造体の作製」
  　　徳岡篤(工学研究科M1)、 野田大二、服部正
• 18.「高機能導光板の作製と照明スタンドへの応用」
  　　藤本貴弥(工学研究科M2)、 南山康人、西田諭史（㈱ナノクリエート）、 野田大二、服部正
• 19.「樹脂成形による小型傾斜角センサの作製」
  　　久保山優(工学部 機械システム工学科B4)、 西田諭史（㈱ナノクリエート）、 野田大二、服部正
• 20.「金ナノ粒子の高アスペクト比自己集合と分子センシング」
  　　福岡隆雄、内海裕一、 吉田充宏(工学研究科M1)、倉本亮介、森康雄(同志社大学理工学部)
• 21.「多層配線構造を有する神経再生型電極の開発」
  　　吉田充宏(工学研究科M1)、寄玉侑司(工学部 機械システム工学科B4)、 満渕邦彦(東京大学大学院情報理工学系研究科)、 廣瀬義人、内海裕一
• 22.「新規マイクロ分析システムの提案及び酵素免疫測定への応用」学生ポスター賞
  　　畔田吏(工学研究科M1)、能勢博樹(工学部 機械システム工学科B4)、 内海裕一
• 23.「ナノインプリントによって作製したポリマーナノ構造体の物性探索」
  　　姜有志(物質理学研究科M2)、岡田真(物質理学研究科D2)、 神田一浩、春山雄一、松井真二
• 24.「PS-b-PMMAへの熱ナノインプリント」
  　　岡田真(物質理学研究科D2)、 春山雄一、神田一浩、松井真二
• 25.「ペンタフルオロプロパンガス雰囲気中における接触角測定評価」
  　　知念美佳(理学部 物質科学科B4)、岡田真(物質理学研究科D2)、 春山雄一、神田一浩、松井真二、 廣島洋(産業技術総合研究所)
• 26.「PFPガス雰囲気下における光示差走査熱量測定による UVナノインプリントレジスト評価」
  　　澤田陽平(理学部 物質科学科B4)、岡田真(物質理学研究科D2)、 三宅弘人(ダイセル化学工業)、大幸武司(東洋合成工業)、 平井義彦(大阪府立大学)、廣島洋(AIST)、 春山雄一、神田一浩、松井真二
• 27.「ニュースバルにおけるDLC膜国際標準化プロジェクト」
  　　神田一浩
• 28.「DLC膜に対する軟X線照射効果」
  　　神田一浩、新部正人、松井真二、 　　姜有志(物質理学研究科M2)、 横田久美子、田川雅人(神戸大学大学院工学研究科)
• 29.「光電子分光およびXAFSによるSAM膜の分析」
  　　春山雄一、松井真二、岡田真(物質理学研究科D2)、 石田敬雄(産業技術総合研究所)
• 30.「第一遷移元素のＬ吸収端領域におけるXAFS測定」
  　　上村雅治、長谷川孝行(合同会社シンクロトロンアナリシスLLC)、 元山宗之、神田一浩
• 31.「フォトダイオードを用いたTFY法による軟X線吸収分光の開発」
  　　小高拓也(工学部 応用物質科学科B4)、 新部正人
• 32.「２ｍ望遠鏡・主鏡コーティング装置の開発」
  　　坂元誠、圓谷文明(兵庫県立西はりま天文台公園)、 新部正人
• 33.「希ガスプラズマでエッチングしたn-CaN結晶のNEXAFS測定 によるダメージ解析」
  　　新部正人、 小高拓也(工学部 応用物質科学科B4)、 川上烈生、稲岡武、富永喜久雄(徳島大学大学院工学研究科)、 向井孝志(日亜化学)
• 34.「軟X線吸収分光によるイオン照射垂直配向高密度多層カーボン ナノチューブの構造評価」
  　　難波修平、長谷川陽一、本多信一(工学研究科)、 新部正人、寺澤倫孝
• 35.「シングルバンチSRを用いたEUVL用ミラーの コンタミネーション生成実験」
  　　新部正人、古井田啓吾
• 36.「EUV顕微鏡による欠陥修正マスク検査の高解像度化」
  　　吉本真、時政明史(工学部 電子情報電気工学科B4)、 原田哲男、渡邊健夫、木下博雄
• 37.「In-situエリプソメートリによるコンタミネーション評価」
  　　松田直大(工学部 応用物質科学科)、 渡邊健夫、原田哲男、木下博雄(高度研 EUVリソグラフィー研究開発センター)、 老泉博昭、井谷俊郎(Selete)
• 38.「ニュースバルにおける極端紫外線リソグラフィ用レジストに関する研究」
  　　福島靖之(工学研究科D3)、井口貴文、木村瑛彦(工学研究科M2)、 山口裕也(工学研究科M1)、浦山拓郎(工学部 応用物質科学科B4)、 原田哲男、渡邊健夫、木下博雄
• 39.「極端紫外線干渉露光系の開発と干渉露光パタン形成の研究」
  　　井口貴文(工学研究科M2)、福島靖之(工学研究科D3)、 山口裕也、多田将樹(工学研究科M1)、 原田哲男、渡邊健夫、木下博雄
• 40.「EUVリソグラフィ用新規カリックスレゾルシナレン系ネガ型レジストの開発」
  　　高須賀大晃、岡田悠、林宏美、越後雅敏(三菱ガス化学㈱)、 渡邊健夫、木下博雄
• 41.「低分子系レジストのEUV露光によるLER特性に関する研究」
  　　塩野大寿、大森克実、佐藤和史(東京応化工業㈱)、 福島靖之(工学研究科D3)、 渡邊健夫、木下博雄
• 42.「極端紫外線干渉露光系による極微パタン形成」
  　　浦山拓郎(工学部 応用物質科学科B4)、福島靖之(工学研究科D3)、 井口貴文(工学研究科M2)、山口裕也、多田将樹(工学研究科M1)、 原田哲男、渡邊健夫、木下博雄(高度研・EUVリソグラフィー研究開発センター)
• 43.「EUV顕微鏡によるEUVマスク検査の高解像度化」
  　　時政明史、吉本真(工学部 電子情報電気工学科B4)、 原田哲男、渡邊健夫、木下博雄(高度研・EUVリソグラフィー研究開発センター)
• 44.「コヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡によるEUVマスク検査」
  　　中筋正人(工学部 応用物質科学科B4)、木村瑛彦(工学研究科M2)、 多田将樹(工学研究科M1)、 原田哲男、渡邊健夫、木下博雄(高度研・EUVリソグラフィー研究開発センター)
• 45.「EUV干渉露光によるhp 1X nm世代レジスト評価のための回折格子製作」学生ポスター賞
  　　山口裕也(工学研究科M1)、福島靖之(工学研究科D3)、、 浦山拓郎(工学部 応用物質科学科B4)、 原田哲男、渡邊健夫、木下博雄(高度研・EUVリソグラフィー研究開発センター)
• 46.「旭硝子におけるEUVブランクマスクの開発」
  　　岡村有造、林和幸、宇野俊之（旭硝子㈱）
• 47.「EUV用低分子レジストの開発」
  　　塩谷英昭、柏村孝、大和田貴紀(出光興産㈱)、 渡邊健夫、木下博雄
• 48.「コヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡における像再生アルゴリズムの開発」
  　　木村瑛彦(工学研究科M2)、中筋正人(工学部 応用物質科学科B4)、 原田哲男、渡邊健夫、木下博雄
• 49.「シンクロトロン放射光照射による石英系ガラス膜の改質とその制御」
  　　上田亮太、多胡紀史、原口大樹、播磨孝彦、森脇和幸(神戸大学大学院工学研究科)、 神田一浩、 松井真二(高度研)、 渡辺啓(NTTフォトニクス研究所)

#学生ポスター賞：学生のポスター発表を対象に高度研教員が研究の新規性・有用性、プレゼンの表現力、本人の貢献度等を審査の上、優秀な発表を行った学生３名を選考しました。