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高度産業科学技術研究所 兵庫県立大学 UNIVERSITY OF HYOGO
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高度産業科学技術研究所の組織(研究部門)


当研究所は「光・量子科学技術」、「光応用・先端技術」の2大講座から組織され、5つの専門分野が設置されています。 光・量子科学技術大講座は、光およびビーム関連科学の研究開発を進めるとともに新しいナノ科学の創出を進めています。また、 光応用・先端技術は、放射光利用によるナノテクノロジーを駆使したマイクロデバイス研究や計測技術の研究開発を進め、産業業界の支援を行っています。 この他、3つの研究開発センター「EUVリソグラフィー研究開発センター」「ナノインプリント研究開発センター」「LIGAプロセス研究開発センター」が設置されています。
 
高度産業科学技術研究所の組織(研究部門)

光・量子科学技術大講座

・ 光量子システム
・ ビーム物理学
・ ナノ構造科学
・ 客員部門(予定)

光応用・先端技術大講座

・ 放射光ナノ工学
・ ナノマイクロシステム
・ バイオメディカル(予定)
・ 客員部門(予定)

EUVリソグラフィー研究開発センター

LIGAプロセス研究開発センター

放射光先端分析研究センター

スタッフ



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